圧力の校正(1)
長野計器（株） 営業企画本部 営業企画部 部長 佐藤 浩二 １．はじめに 試験や検査時に行われる測定の信頼性を確保するためには、適切な測定方法の採用と計測器の信頼性を確保することが必要である。このうち、計測器の信頼性を確 […]
カテゴリ: 解説・連載
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弾性波フィルタとは何か－FBARやSMRをわかりやすく、詳しく解説(2)
東北大学 大学院 工学研究科ロボティクス専攻 教授 田中秀治 5. スプリアス応答とその対策 スプリアス応答についてその理解を助ける別の説明を試みよう。仮にFBARの振動膜が空中に浮かんでいて、図4 (a)に示すように純 […]
MEMS技術との融合により実現する人工細胞膜センサ(2)
神奈川県立 産業技術総合研究所 大崎寿久 東京大学 大学院 情報理工学系研究科 教授 竹内昌治 ３．ナノポアを利用した人工細胞膜センサ 前節で述べたような脂質二重膜形成デバイスは、標的となる膜タンパク質を脂質二重膜に再構 […]
ディスプレイとライダーのためのMEMSミラーの設計基本ポイント(2)
東北大学 大学院工学研究科 教授 羽根一博 4. 疲労寿命の延長 3節でねじればねの破壊強度が設計を制限していることを述べたが、破壊限界はミラーの実用化における信頼性を確保するためには欠かせない問題である。破壊限界に近づ […]
非冷却赤外線イメージセンサ(2)
立命館大学 理工学部 特任教授 木股雅章 4. 発展段階にMEMS技術が果たした役割 イメージセンサにとって画素ピッチ縮小は最も重要な課題であり、非冷却赤外線イメージセンサでもこれまで画素ピッチを縮小するための技術開発に […]
弾性波フィルタとは何か－FBARやSMRをわかりやすく、詳しく解説(1)
東北大学 大学院 工学研究科ロボティクス専攻 教授 田中秀治 1. 最大のMEMS製品：BAWフィルタ フランスのエレクトロニクス市場・技術調査会社Yole Développmentが、毎年、MEMS売上企業ランキング […]
MEMS技術との融合により実現する人工細胞膜センサ(1)
神奈川県立 産業技術総合研究所 大崎寿久 東京大学 大学院 情報理工学系研究科 教授 竹内昌治 １．はじめに 細胞膜は、細胞の内外を隔てるだけでなく、細胞内小器官を形作るなど、細胞の主要な構成要素の一つとなっている。細胞 […]
ディスプレイとライダーのためのMEMSミラーの設計基本ポイント(1)
東北大学 大学院工学研究科 教授 羽根一博 1. はじめに MEMSミラーはレーザーのスキャナとして古くより開発されてきた。現在では携帯型のレーザープロジェクタとして市販されている。また、車の自動運転に必要な距離画像を得 […]
非冷却赤外線イメージセンサ(1)
立命館大学 理工学部 特任教授 木股雅章 1. はじめに MEMS (Microelectromechanical Systems) 技術は、LSIと同じようなプロセス装置を使って三次元構造を作る製造技術である。MEMS […]
工業用センサの製品コンセプトと設計の考え方(2)
日本工業大学 特別研究員 大木 眞一 3. 工業用センサに要求される仕様と設計の考え方 工業用センサは、プロセス制御の分野において多くの製品が長期に使用されてきた実績があることから、ユーザ側から図5に示すような様々な要求 […]