特集・解説記事

    水晶と水晶を用いたセンサー（2）

    セイコーエプソン（株）マイクロデバイス事業部佐藤 健二 3.2 水晶の加工法  水晶の加工法には、大きく分けて3つの方法がある。「機械加工」「ウェットエッチング」「ドライエッチング」の3種類である。現状、量産技 […]
    2023年09月20日 解説・連載 ,特集

    水晶ジャイロセンサーについて（2）

    セイコーエプソン（株）マイクロデバイス事業部押尾 政宏 3.　ジャイロセンサーの重要特性  ジャイロセンサーには様々な特性があり、アプリケーションに応じて適切なセンサーを選択する必要がある。以下にポイントとなる […]
    2023年09月20日 特集 ,解説・連載

    水晶加速度センサーについて（2）

    セイコーエプソン株式会社マイクロデバイス事業部中仙道 和之 ３． 水晶加速度センサーのアプリケーション例  開発初期のターゲットアプリケーションは、地震観測[2]でした。人が感じる事が出来ない極微小な振動から、 […]
    2023年09月20日 解説・連載 ,特集

    水晶と水晶を用いたセンサー（1）

    セイコーエプソン（株）マイクロデバイス事業部佐藤 健二 1 はじめに  水晶は「産業の塩」とも言われるほど、電子機器には欠かせない物質である。温度安定性の高さから、多くの通信機器の周波数源として水晶振動子や水晶 […]
    2023年09月06日 解説・連載 ,特集
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