極高真空（XHV）技術とその応用(2)
一般社団法人センサイト協議会常務理事 島田芳夫 ４ 極高真空の質量分析への応用 ４．１ 四重極分析計 WATMASS-MPH 四重極方式（QMS）の質量分析計で、通常のQMSではセンサ先端部のイオン源からのガス放出のため […]
カテゴリ: 解説・連載
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真空の圧力測定技術（Pressure measurement method in vacuum）(2)
キヤノンアネルバ（株）桑島 淳宏 4. ピラニ真空計 気体の熱伝導を利用した真空計として最も汎用的なものがピラニ真空計である．ピラニ真空計の構造を図3に示す． 図3. ピラニ真空計の構造 ピラニ真空計は，電極にフィラメン […]
半導体製造へのAI活用(2)
東京エレクトロン（株）先端データ企画部部長 守屋 剛 ４．半導体製造プロセスにおける最適化事例 半導体デバイスの微細化、および３次元化により、ターゲットとなる特性（カバレッジ、膜特性、均一性等）を同時に満たすプロセス条件 […]
圧力真空標準の整備とその普及活動について(1)
産業技術総合研究所計量標準総合センター圧力真空標準研究グループ吉田 肇 1. はじめに 真空装置に、複数の圧力計や真空計を並べて取り付けて測定した場合、両者の値が完全に一致することは珍しく、多くの場合、多かれ少なかれ差が […]
極高真空（XHV）技術とその応用(1)
一般社団法人センサイト協議会常務理事 島田芳夫 この文章は、センサイト協議会が東京電子株式会社殿にインタビューした内容を記事にしてあります。面談に応じていただいたのは以下の方々です。 東京電子株式会社代表取締役社長黒岩 […]
真空の圧力測定技術（Pressure measurement method in vacuum）(1)
キヤノンアネルバ（株）桑島 淳宏 1. はじめに 真空環境の圧力を測定するために利用される圧力計は真空計と呼ばれている．真空は日本工業規格（JIS）で「通常の大気圧より低い圧力の気体で満たされた空間」と定義されているため […]
半導体製造へのAI活用(1)
東京エレクトロン（株）先端データ企画部部長 守屋 剛 １．はじめに 我々の生活には多くの電子機器が使われており、身近なところでは、自動車、スマートフォン、ドローンなど、数えれば限りがない。それら電子機器の心臓部である半導 […]
量子磁気計測センサ応用ME機器の研究開発と実用化(2)
元 横河電機（株） 取締役中央研究所長大手計測センサ技術事務所大手 明 ２．Appendix：量子磁気計測センサ応用ME機器の実用化の展望（私見） 2.1 脳磁計（MEG） 脳磁計（MEG）は超電導量子干渉素子（SQUI […]
光ポンピング原子磁気センサと次世代の脳機能計測(2)
京都大学大学院工学研究科小林 哲生 ４. 小型OPMモジュールの開発とMEG計測 我々は、これまで多チャネルMEG計測に向けた小型OPMモジュールの開発を行ってきており、2012年に最初のOPMモジュールを報告した。そ […]
走査型SQUID顕微鏡の開発と地質試料への応用(2)
産業技術総合研究所地質調査総合センター小田 啓邦 3.国産の走査型SQUID顕微鏡の開発 ヴァンダービルト大学での成功により、SQUID顕微鏡による鉄マンガンクラストのサブミリメータ古地磁気層序による年代推定の道が開けた […]