辻 皓平
1.pH測定の原理と多様な電極
pHは水溶液の酸性、アルカリ性の度合いを示す指標であり、水素イオン活量の対数で定義される。活量とは、周りのイオンや溶媒分子との相互作用を反映した量で、溶液が低濃度の場合には実質的には活量と濃度(mol/L)は等しいと考えることができる。pH7を中性、これよりpH値が小さいときは酸性、大きいときはアルカリ性と呼ぶ。現在はガラス電極を用いた電位差測定法(以下、ガラス電極法)が、JISでは標準法として定められている。ガラス電極法では、あらかじめpHが割り当てられた標準液を用いた校正が必要となり、JIS(Z8802)では6種類のpH標準液が定められている。ガラス電極法はpHに応答する作用電極と、溶液の濃度や組成に依らず一定の電位を示す参照電極との間に発生する電位差を測定し、pHに変換する(図1)。作用電極の主流はガラス電極であり、その応答機構はガラス膜表面相と試料溶液間での水素イオンの分配平衡に基づいている。一方、参照電極は、液絡部と呼ばれる試料溶液との接合部から、高濃度のKCl溶液を試料溶液側に絶えず流出させることで、試料溶液と参照電極の内部液の間の液間電位差を一定に保っている。近年は作用電極と参照電極が組み合わされた複合型電極が広く使用されている(図2)。
またアプリケーションの拡大に伴い、測定用途に応じた様々なタイプのガラス電極が開発されてきたが、その発展形としては大きく性能面と形状面に二分される。前者の例としては低電気伝導率サンプル向けやガラスを溶かす性質のあるフッ酸に対して耐久性を向上させた電極などが、後者としては突き刺し測定が可能なニードル形状や、平面測定を可能とするフラット形状となっている電極が挙げられる。ガラス電極以外の作用電極として他にもアンチモン電極や半導体技術を利用したISFET電極があり、それぞれ特長を生かせる分野にて使用されている。一方、参照電極も内部液を流出させる液絡機構や内部極構造においてその種類が多岐に渡り、作用電極との組み合わせ次第で非常に多様な電極構成が可能となる。しかしながら従来のpH電極は、参照電極において内部液の容量を確保するためにある程度の体積が必要なことから、電極の小型化およびコストダウンに課題を残していた。
(HORIBA Advanced Techno 9615S-10D)
2.課題解決に向けた近年のセンサ技術
小型で安価なpH電極の需要が高まる中、近年ではさらに応答物質材料は多様化し、従来のガラス電極やISFET電極、アンチモン電極以外にも、種々の金属あるいは金属酸化物系電極1)-5)、ポリアニリンを応答膜とした導電性高分子系電極6)などが報告されている。また特にここ数年、アプリケーションとしてウェアラブルデバイスへの搭載を見据えたフレキシブルセンサ形態での評価も盛んに行われている。導電性高分子は応答膜そのものが柔軟性を有していること、金属酸化物を応答材料とする電極は、導電性クロスの上に酸化物ナノ粒子を担持する方法5)や、酸化物ナノ粒子を導電性薄膜上にインクジェット印刷する7)方法が可能であることから、従来のガラス電極と比較し電極形状の自由度も向上している。センサの薄膜化・小型化という点においても、これらの新技術は作用電極部に内部液を必要とせず、その点で従来のガラス電極よりも小型化に適した構造となっている。
ガラス電極の場合には、応答膜の加工に繊細な感覚が必要なことから、職人の熟練した技術に頼って生産される場面が多く、製造工程という観点でも大量生産にも限界があった。上記に紹介した新技術ではセンサ部を機械的に生産できる可能性も有しており、大量生産による安価なpHセンサとしても期待できるものである。
ISFET電極は従来用いられていたセンサでもあるが、半導体プロセスを経て製造されており、微小なセンサを高密度に集積可能なことから、その特長を生かしてDNAシーケンサにも利用されている8)。DNAシーケンサでは1万個以上ISFETアレイが並列されており、DNAの伸長反応において発生するpH変化をそれらが同時並行で検出することで、DNA配列を高速で解読することができる。こちらは半導体プロセスによってセンサの大量生産が可能であることをうまく活用したアプリケーションとなっている。
一方、参照電極にも様々な技術が取り入れられ開発が進められている。例えば、イオン液体を液絡に用いた電極9)では、内部液である塩化カリウム水溶液をほとんど流出させずに測定を行うことが可能となっている。これにより、塩化カリウムと反応を起こすサンプルや、少量の塩化カリウムのコンタミネーションにも敏感な低電気伝導率のサンプルの測定を安定して行うことができる。またイオン液体に樹脂を混合して固体化させることで、完全に内部液が不要な技術も研究されている10)。この他にもフィルム基材上に薄膜状完全固体の銀/塩化銀電極を形成し、微小な参照電極とする手法もある11,12)。内部液が不要な参照電極は、現状、従来の内部液を有するタイプの参照電極と比較すると安定性などで劣っている面もあるが、今後さらなる発展が期待できるものとなっている。またpHに応答しないFETや金属電極を参照電極2)とする技術もあり、pH電極の小型化にとって重要な課題である参照電極の完全固体化に向けたアプローチも複数展開されている。これら参照電極の固体化・小型化技術を前述した作用電極の技術と組み合わせることで、さらに多種多様な電極が実現できるようになり、要求精度や使用形態に合わせたpH電極の選択の幅がより広くなるだろう。
また電気化学的手法以外にも、蛍光色素を利用しその発光強度や蛍光寿命をイメージングによってpHを解析する手法13)もあり、電極での測定が困難な細胞や臓器といった生体反応の分析に主に利用されている。
次回に続く-
参考文献
1) T.Hashimoto,M.Miwa,H.Nasu,A.Ishihara,Y.Nishio,Electrochim.Acta,220,699-704(2016)
2) K.Xu,Y.Kitazumi,K.Kano,O.Shirai,Electrochem.Commun.,101,73-77(2019)
3) M.Wang,S.Yao,and M.Madou,Sens.Actuators B,81,313-315(2002)
4) L.Manjakkal,K.Cvejin,J.Kulawik,K.Zaraska,D.Szwagierczak,G.Stojanovic,J.Electroanal.Chem.,705,81-85(2013)
5) J.Chou,J.Chiang,Sens.Actuat.B:chem,62,81-87(2000).
6) Y.Li,Y.Mao,C.Xiao,X.Xu,X.Li,RSC Advances,10,21-28(2020)
7) M.Jović,J.C.Hidalgo-Acosta,A.Lesch,V.C.Bassetto,E.Smirnov,F.Cortés-Salazar,H.H.Girault,J.Electroanal.Chem.,819,384-390(2018)
8) J.M.Rothberg et al.,Nature,475,348-352(2011)
9) M.Shibata,M.Kato,Y.Iwamoto,S.Nomura,T.Kakiuchi,J.Electroanal.Chem.,759,82-90(2015)
10) S.A.Chopade,E.L.Anderson,P.W.Schmidt,T.P.Lodge,M.A.Hillmyer,and P.Bühlmann,ACS Sens.,2,1498–1504(2017)
11) T.Kim,S.Hong,S.Yang,Sensors,15,6469−6482(2015)
12) A.Moya et al.,Anal.Chem.,91,15539–15546(2019)
13) 中林孝和、太田信廣,BUNSEKI KAGAKU,58,473-485(2009)
【著者紹介】
辻 皓平(つじ こうへい)
株式会社堀場アドバンスドテクノ 開発本部
■略歴
2016年 株式会社堀場製作所へ入社。
pH、イオンセンサの開発業務に従事。
2017年 株式会社堀場アドバンスドテクノへ転籍。
引き続きセンサ開発業務に従事し、現在に至る。
ダイヤモンドを用いたナノメートルサイズのpHセンサ(1)
藤咲 貴大
(量子科学技術研究開発機構
五十嵐 龍治)
<はじめに>
我々科学者にとってpHというパラメータは馴染みが深い。それはpHが様々な化学種の活性を制御する物理量だからである。したがって、多様な化学種が混在している生体内部では、pHは特に重要である。生体内のpHは微小空間ごとに厳密に制御されており、これが高次な生命現象の発現に深く関与している。そしてこの生体内のpH異常は、脳卒中や心不全、自己免疫疾患など様々な生命現象、疾患に関連している。例えば、がん細胞においては細胞表面の数ナノメートルの微小空間でpHが酸性に傾いており、このことががん細胞の転移、組織浸潤に影響を与えているとされている。したがって、微小空間のpHをモニターすることが可能になれば、生命現象の基礎的な理解が深まるだけでなく、創薬をはじめとする医療分野にも貢献できると期待される。このような微小空間のpH測定を実現するためには、一つの細胞(約20µm)よりも小さなpHセンサが必要である。しかしながら、我々が通常のpH測定で用いるリトマス試験紙やpHメーターはこれよりも遥かにサイズが大きいため、このような微小空間のpH測定に使用することはできない。
1.<センサとしてのダイヤモンド>
我々のグループでは、微小なpHセンサを開発するための材料として蛍光ナノダイヤモンド(Fluorescent Nanodiamond,FND)に注目した。FNDはナノメートルサイズのダイヤモンド粒子であり、微小空間における温度や磁場を測定可能な超高感度センサとして近年注目を集めている。このセンサの動作原理の根幹を担っているのが、FNDの内部に存在する窒素-空孔中心(Nitrogen-Vacancy Center,NVC)である(図1a)。NVCはダイヤモンド中の炭素原子が、隣り合った窒素と空孔に置き換わった格子欠陥である。このNVCに電子が一つトラップされることで、以下に示す3つの特異な量力学的性質を示すようになる。
1つ目は褪色しない蛍光を発する点である。一般的な蛍光色素においては、励起光による化学構造の変化によって蛍光強度が減少してしまう。このため、あらかじめ一定面積以上の蛍光色素の集団を用いて測定を行う必要があり、それに伴い空間分解能が制限される。一方、安定なダイヤモンド中に形成されたNVCは、光学安定性が非常に高いため褪色を示さず、たった一つのNVCのみで測定を行うことも可能である。これによって空間分解能は数ナノメートルに達するため、NVCは「微小空間」の物理量測定に適している。
2つ目は、NVCのスピン量子状態が温度や磁場、電場といった様々な物理量と厳密に共役している点である。すなわち、NVCのスピン量子状態を読み取ることで、スピンに影響与える「様々な物理量」を定量することが可能である。3つ目はNVCの量子状態が可視光で読み取ることができる点である。一般的な磁気共鳴法によるスピン量子状態の読み取りにおいては、マイクロ波帯のごく低いエネルギーの検出が必要となる。このため、スピンをセンサとして活用する計測手法は一般に低感度であった。一方、可視光(波長:600nm、エネルギー:2eV)はマイクロ波(波長:0.1m、エネルギー:1×10-5eV)と比較してエネルギーが桁違いに高く、「超高感度」の物理量測定を可能にする。以上の3つの性質から、NVCのスピン量子状態を可視光で読み取ることにより、「微小空間」における「様々な物理量」を「超高感度」で測定することが可能である。
以上のようなNVCの量子力学的性質を用いた測定手法は量子センシングと呼ばれている。一例として、我々がNVCを用いて行った温度に関する量子センシングの結果を示す(図1b)。温度(T)依存的にNVCの共鳴周波数(f)のシフトが観察され、f=-0.065T+2889.23と定式化された。また現在までに、30秒間の測定時間で1.8mKという高い精度で温度測定が可能であることが示されている1)。また、磁場や電場、圧力といった物理量に関しても、量子センシングによって高い感度で測定可能であることが示されている。しかしながら、これまでの研究で測定対象とされている物理量の多くは、ダイヤモンド結晶内のNVCのスピン量子状態に直接影響を与える温度や磁場、電場といった物理量に限られてきた。特にpHは、NVCのスピン量子状態に直接影響を与えない物理量であるため、従来の方法ではFNDを用いてpHを測定することは困難であった(図1c)。
共鳴周波数が温度に対して線形にシフトした。この線形関係を用いることで、NVCの共鳴周波数測定によって温度を測定することが可能である。
図1(c) 縦緩和時間T1のpH依存性の検証結果。
機能化処理をしていない一般的なFNDを用いた場合、pHはNVCの縦緩和時間T1に影響を与えなかった2)。
2.<pHセンサとしてのFND>
我々のグループでは、特殊な機能化処理によって、FNDを微小なpHセンサとして活用する方法を考案した(図2)。具体的な機能化処理としては、pH依存的に電荷状態が変化する官能基であるカルボキシ基をFND表面にコーティングした。カルボキシ基はpH4から5以下の酸性条件下では中性状態(-COOH)であるが、それ以上のpH条件下で負電荷状態(-COO-)に変化する。このカルボキシ基の電荷状態の変化がNVCのスピン量子状態に干渉することで、縦緩和時間(T1)と呼ばれる値が変化する。この場合のT1とは、レーザー照射によって非平衡化されたNVCの量子状態が、平衡状態に戻るまでの時間である。
実際に、大気中での熱酸化、および硫酸と硝酸が共存した状態での熱処理によってカルボキシ基をFND(約100nm)に修飾した(図3a)。このカルボキシ化したFNDを用いて様々なpH条件下でT1を測定したところ、カルボキシ基の電荷状態が変化するpH4から5付近でT1が大きく変化した(図3a)。すなわち、pH依存的に電荷状態が変化する官能基をFNDの表面に修飾する方法によって、pH変化をT1の変化として検出することが可能であることが示された。また、一般的なpHセンシングにおいてはセンサの可逆性がしばしば問題となるが、今回我々が開発したpHセンサの動作原理は、官能基の可逆的な電荷状態の変化に基づいているため、pH変化を可逆的にセンシングすることが可能であると考えられる(図3c)。実際、pHを9と3で交互に変化させた際に、カルボキシ化したFNDのT1がpHに対応して交互に変化したことから、我々の開発したpHセンサが可逆的に動作することが示された。
図3(c) pHセンサの可逆性の評価。pHを3と9で交互に変化させた際に、T1が交互に変化したことから、
今回開発したpHセンサが可逆的であることが示された。
次回に続く-
参考文献
[1] Kucsko,G.et al.,Nanometre-Scale Thermometry in a Living Cell.Nature,500,54–58(2013).
[2] Fujsiaku,T.et al.,PH Nanosensor Using Electronic Spins in Diamond,ACS Nano,13,11726–11732 (2019).
【著者紹介】
藤咲 貴大(ふじさく たかひろ)
京都大学 大学院工学研究科 分子工学専攻
■略歴
2016年京都大学工学部工業科学科卒業。2018年京都大学大学院工学研究科分子工学専攻修士課程卒業。2018年から現在まで同博士課程に在籍。
これまで、NVCを用いた新規pHセンシング手法の開発に取り組んできた。今後は、pH以外の物理量の測定方法の開発や生体への応用など、NVCを用いた量子センシング技術の汎用化に挑戦していきたい。
海洋pH観測のセンサ開発とXPRIZEへの挑戦(1)

研究プラットフォーム運用開発部門
三輪 哲也
Wendy Schmidt Ocean Health XPRIZEの開催
イノベーションコンテストで圧倒的な知名度のあるXPRIZEは、Xプライズ財団が運営する「人類に利する技術開発を促進し、よりよく安全かつ持続可能な世界を目指す」を掲げ運営されている1)。 XPRIZEコンテストに参加すると、その設立のきっかけとなった「スピリット・オブ・セントルイス」の大西洋単独無着陸飛行の話が紹介される。1919年にパリ・ニューヨーク間での無着陸飛行の成功者に懸賞金を提示した「オルティーグPRIZE」というコンテストでは、ホテル経営者のレイモンド・オルティーグが資金提供をし、8年後の1927年にチャールズ・リンドバーグという若者が大西洋単独無着陸飛行の実現をした。この課題解決型のコンテストは多数の挑戦者とその失敗を重ねることとなるが、技術促進の種になる、という考え方によって、受け継がれてきている。XPRIZEは、Xのワードに、様々なスポンサーを冠し、トーナメント形式のような関門を設け、エンターテインメント的な要素も含みながら進められていく。
2010年にメキシコ湾沖の石油掘削施設からので発生した大量の原油流出事故は、メキシコ湾沿岸の海洋生態系にとても大きなダメージを与えた。当時のオイル除去作業は遅々として進む様子もなかったため、大手検索サイトGoogleのCEOであったエリック・シュミットらが設立したシュミットファミリー財団(ウェンディ・シュミット理事長)2)が、「ウェンディ・シュミット原油クリーンアップXチャレンジ(Wendy Schmidt Oil Cleanup X Challenge)」と冠したXPRIZEを立ち上げた。その後、古くから行われているようで技術波及が進んでいない海洋観測手法に興味を持ち、2013年より、大気中の二酸化炭素の増加による海洋酸性化する問題がクローズアップされた時期と重なり、海洋のpHセンサが、より広く普及することを目指した、賞金総額200万ドルの海洋pHセンサのイノベーションコンテスト「Wendy Schmidt Ocean Health XPRIZE」を開催した。シュミットファミリー財団は、その後も海洋に関する技術開発のイノベーションを支援し、Schmidt Marine Technology Partnersというシステムを作り、持続可能の漁業、海洋研究支援、海洋プラスチック汚染、ハビタットヘルスなどについて取り組んでいる3)。
海洋の健康とpH計測
海洋の酸性化は大気中の二酸化炭素の濃度と深くかかわっている。大気と海表面は平衡関係にあり、二酸化炭素ガスは海中に溶けると、炭酸イオンとして海洋を酸性化する。酸性化が進めば海洋の二酸化炭素を吸収する能力が低下するばかりか、プランクトン、サンゴ、貝類のミネラリゼーションのバランスが壊れ、海洋の生態系に大きな変化が現れる恐れが指摘された4)。これまでの研究から、海水は弱アルカリ性の特徴を持ち、海表面ではpH 8.1程度に、水深1,000m付近でpH 7.4程度になることが、日本の太平洋の沖合、北太平洋亜熱帯域でわかっている。これらはCTD採水器とよばれる装置を海中に投入し、それぞれの深度での海水サンプリングから、船上の実験室でpH計測をして得られる。(図1)

海洋研究開発機構(JAMSTEC)では、西部太平洋亜寒帯域の時系列観測点Station K2(北緯47度、東経160度)において海洋酸性化研究のための定点観測を実施している。脇田らはStation K2での長期的な時系列観測データ取得を行い、2013年に表面海水のpHの低下速度が10年あたり-0.024±0.007であり、水深200~300mでのpHの低下速度が10年あたり-0.051±0.010であると報告した5)。Doreらが2009年にハワイ沖の時系列観測点Station Aloha(北緯22度45分、西経158度)での海洋酸性化のデータを報告し、水深約250mでのpHの低下速度が最も早いことを示した6)。世界各国の時系列観測点は9か所程度あるが、すべてでpHの低下傾向が観測された。海洋酸性化の進行については今後も進行することは予測されているが、その実態は観測点の少なさから、まだ実態がよくわかっておらず、今後も海洋の監視を継続して、科学的知見を集積していくことが求められている。
海水のサンプリングによるラボでの計測は、高精度のpHセンサで実現できるのであるが、時系列データの高密度化においては乏しく、pHセンサの現場計測ができないか検討された。
ハイブリッドpHセンサ(HpHS)の開発
JAMSTECでは海底探査技術の開発を行ってきており、水中グライダーやランダー、自律型海底探査機(AUV)等の開発を行ってきた。そのため、これらに搭載可能なセンサの選定や開発を行ってきており、海洋においては少ない「現場型センサ」の研究開発に注力してきた。「現場型センサ」は数日から1年以上の外洋係留を想定したり、無人機への搭載を想定し、省電力・小型で高い安定性が求められた。前述の海洋酸性化のためには10-3の精度が求められ、CTD採水器などに搭載する場合には、降下上昇速度に合わせ計測するため、短い計測時間が求められる。また、pH計測では常識になっている「較正作業」を現場でどのように行うかも課題となる。JAMSTECでは、紀本電子工業と協力して海洋pH計測が可能な現場計測装置の開発を試みた。
pH測定法には様々な方法があるが、主なものはガラス電極法、pH指示薬を用いた比色法、ISFETなどを用いた半導体電極法がある。これらの中でpH指示薬を用いた比色法は、指示薬を選ぶことにより特定の範囲で高い精度での測定が可能であり、指示薬の劣化を防げれば、長期的に安定している利点がある。しかし指示薬や海水の混合、セルの洗浄などを行うため、分光解析にかかる電力の他、ポンプやバルブを設置し、駆動させるための電力も必要となり、試薬の保管・調整も必要で、取り扱いが煩雑になる。ガラス電極やISFET半導体電極を用いる方法は、計測の応答が早く、手軽に連続測定でき、消費電力が少ないという利点がある。一方、長期の利用では、個々の電極が持つ特性により、測定値が実際の値から離れていく“ドリフト”と呼ばれる現象が大きくなり、正しい計測ができなくなる。少しでも安定した計測ができるように、ガラス電極や半導体電極の工夫がなされてきたが、“ドリフト”は抑えられない。そんな中、Wendy Schmidt Ocean Health XPRIZEの開催が知らされた。
Wendy Schmidt Ocean Health XPRIZEに参加するにあたり、海洋における既存のpHセンサの欠点を克服する新しいpHセンサを開発することとした。XPRIZEの開始まで4か月程度の余裕があったため、既存の海洋pH計測で良い精度を示していたガラス電極センサと、海水pH計測で高い精度が出る現場型比色pHセンサをハイブリッド化させ、それぞれの欠点を補いながら長所を生かすHybrid pH Sensor System(HpHS)を開発した。(図2)HpHSは省電力なガラス電極法で、高頻度測定を行い、移動速度が速い時にも追従できるようにした。一方、ガラス電極法の数回~数十回の計測に対して、高精度な比色法で連携測定を行い現場補正することにより、長期間で安定したpH測定を可能とした。

次回に続く-
参考文献
3) https://www.schmidtmarine.org/
4) IPCC(2013),Climate Change 2013:The Physical Science Basis.Contribution of Working Group I to the Fifth Assessment Report of the Intergovernmental Panel on Climate Change.Cambridge University Press,Cambridge,United Kingdom and New York,NY,USA,1535 pp.
5) Wakita,M.,S.Watanabe,M.Honda,A.Nagano,K.Kimoto,K.Matsumoto,M.Kitamura,K.Sasaki,H.Kawakami,T.Fujiki,K.Sasaoka,Y.Nakano,and A.Murata(2013),Ocean acidification from 1997 to 2011 in the subarctic western North Pacific Ocean,Biogeosciences,10,7817-7827.
6) Dore,J.E.,R.Lukas,D.W.Sadler,M.J.Church,and D.M.Karl(2009),Physical and biogeochemical modulation of ocean acidification in the central North Pacific,Proc.Natl.Acad.Sci.U.S.A.,106,12,235-12,240.
【著者紹介】
三輪 哲也(みわ てつや)
国立研究開発法人海洋研究開発機構 研究プラットフォーム運用開発部門
技術開発部 調査役
■略歴
愛知県名古屋市生まれ
1991年 東京工業大学大学院理工学研究科化学工学専攻博士課程修了
同年 新技術事業団創造科学技術推進事業 永山たん白集積プロジェクト 研究員
1995年 東京大学大学院工学系研究科応用化学専攻藤嶋研究室 助手
1998年 海洋科学技術センター 深海環境フロンティア 研究員
2008年 独立行政法人海洋研究開発機構 海洋工学センター先端技術研究プログラム グループリーダー
2019年 国立研究開発法人海洋研究開発機構 研究プラットフォーム運用開発部門 技術開発部 調査役 現在に至る。 博士(工学)。
明治大学大学院理工学研究科 客員教授
横浜市立大学大学院生命ナノシステム科学研究科 客員教授
IoT時代のキーデバイスMEMSセンサ(1)
江刺 正喜
半導体微細加工によるMEMS(Micro Electro Mechanical Systems)技術を用いると、高度なセンサなどが安価に製造でき、これらはIoTのキーデバイスとなっている。ここでは装着に適した構造の半導体イオンセンサについて述べる。
1.半導体イオンセンサ(装着に適した構造)
47年前の大学院生の時(1971年)に研究した、ISFET(Ion Sensitive Field Effect Transistor)と呼ばれる半導体イオンセンサを紹介する。電解液中の特定のイオンの濃度を計測するには、図1左に示すイオン選択性電極が使われている。水素イオン濃度であるpHを測るガラス電極はその代表例であるが、イオン感応層であるガラスと液の界面電位がpHで変化し、その電位はガラス膜を通して測定されるため、小型化すると高抵抗になる問題があった。ISFETの場合は図1右のように絶縁ゲートFETのゲート絶縁膜上にあるイオン感応層表面で生じる電位を、FETで電流に変換するため、小形化に適している。水素イオンの場合にはイオン感応層表面のSi-OH基が液中の水素イオン濃度に対応して、酸性の場合には Si-OH2+にアルカリ性の場合にはSi-O–に、それぞれ電荷を持ち界面電位を生じる。どのイオンに選択的に応答するかはイオン感応層表面組成により以下のような機構で変わり、表面にSi-Al-O–基を持つアルミノシリケートをイオン感応層に用いるとNa+イオンに応答する。Si-O–基の場合は電界が強いため、H+イオンを水和した状態から分離させて結合しpHセンサとして働く。これに対しSi-Al-O–基の場合にはSi-O–基よりも負電荷が分散し電界が弱いためにH+イオンは水和状態にあるが、水和エネルギの弱いNa+イオンはSi-Al-O–基と結合することができてpNaセンサとなる。これを利用しpHとpNaを測れるマルチイオンセンサ用ISFETも製作されている1)。
カテーテル先端に取り付けて体内でpHを測るため、MEMS技術で図2のような幅0.5mmのプローブ構造に製作した2)。先端にあるFET構造のセンサから、ソース・ドレインをSi内部に埋め込んだ拡散層を通して根本の端子部まで引き出しているが、これによって先端部だけがセンサとして機能する。端子部を樹脂で固定して図3のような形で外径1mmのカテーテル先端に装着し、pH用やPCO2(血管内炭酸ガス濃度)用のセンサとして製作した3)。pH用の表面はハイドロゲルで被覆し、血管内でも血栓ができないようにしている。PCO2センサの場合には、シリコーン樹脂によるガス透過膜の内部にNaHCO3を含むハイドロゲルを有し、CO3によるそのpH変化を測定する。pHとPCO2を血管内で連続モニタすることもできるが、臨床用となると血管内ではセンサを校正できないため信頼性を確保しにくい。1981年に薬事法の認可を受けて1983年に商品化され(図4)、逆流性食道炎の診断などに使われた。この他携帯用pH計としても食品関係などに使われており、2017年2月には電気学会の「電気の礎」として顕彰された。
2.ウェハレベルパッケージングによる圧力センサ(センサ+(回路)+パッケージ)
センサの多くは測定対象に装着して使われるが、圧力センサの場合は圧力以外の影響を受けないようにセンサを外部から保護する必要がある。このためのパッケージングは、センサの安定性だけでなく小形化や低コスト化にも重要な要素で、これをウェハ状態で行うウェハレベルパッケージングが有効である。
シリコンに形成した薄いダイアフラムが両側の圧力差によって変形するのを検出するのに、ダイアフラムに加わる歪を抵抗変化として検出するピエゾ抵抗型と、ダイアフラムと対抗電極との間隔を静電容量変化として検出する静電容量型がある。
図5はウェハレベルパッケージングによるピエゾ抵抗型圧力センサの写真と製作工程である4)。N型のシリコンウェハに、ピエゾ抵抗用のp+型拡散層を形成する。これに穴の開いたガラスを陽極接合するが、これは400℃でガラスに-500V程の電圧を印加すると、静電引力により界面で共有結合する方法である。ガラスの孔に配線取り出し用の金属を堆積させた後、裏面のシリコンをエッチングして薄いダイアフラムを形成する。その後リード線を取り付けた後、1.5mm角の各チップに分割して完成する。図5の左上のようにガラスを通してみるとニュートンリングが見えるが、これは大気圧下で接合した時の温度Tが670Kで、室温(270K)にするとボイル-シャルルの法則(PV=nRT)よって、圧力Pが約0.4気圧と減圧になってダイアフラムが変形していることによる。この圧力センサは補助人工心臓に取り付けて血圧を連続モニタするのに用いられた5)。
このウェハレベルパッケージングを用いると、チップに分割するときにセンサ部が保護されて信頼性が上がる。チップサイズのセンサを封止された状態で得られだけでなく、容器や組み立て装置が不要になり3割ほどのコストで実現できる。このためいろいろなセンサなどに用いられている6)。
図6はウェハレベルパッケージングによる集積化容量型圧力センサである7)。この集積化容量型圧力センサでは、圧力によるダイアフラムの変位による微小な静電容量を検出するため、容量検出用のCMOS集積回路を内部に形成してある。図7のような原理で、この容量検出回路によって出力周波数がセンサ容量で変化する。この周波数は、2本の電源線だけでその電流変化として測ることができ、また温度や電源電圧の影響を受けないように作られている。このセンサは微圧用センサとして実用化され、エアコンのフィルタにおける目詰まり検出などに用いられた8)。
次回に続く-
参考文献
1) M.Esashi and T.Matsuo,Integrated micro multi ion sensor using field effect of semiconductor,IEEE Transactions on Biomedical Engineering,BME-25,2(1978)184-192
2) M.Esashi and T.Matsuo,Biomedical cation sensor using field effect of semiconductor,J.of the Japan Soc.of Applied Physics,44,Supplement(1975)339-343
3) K.Shimada,M.Yano,K.Shibatani,Y.Komoto,M.Esashi and T.Matsuo,Application of catheter-tip I.S.F.E.T.for continuous in vivo measurement,Med.& Biol.Eng.& Comput.,18,11(1980)741-745
4) M.Esashi,Y.Matsumoto and S.Shoji,Absolute pressure sensors by air-tight electrical feedthrough structure,Sensors and Actuators,A21-A23(1990)1048-1052
5) S.Nitta,Y.Katahira,T.Yambe,T.Sonobe,H.Hayashi,M.Tanaka,N.Sato,M.Miura,H.Mohri and M.Esashi,Micro-pressure sensor for continuous monitoring of a ventricular assist device,The International Journal of Artificial Organs,13,12(1990)823-829
6) M.Esashi,Wafer level packaging of MEMS,J.of Micromechanics and Microengineering,18(2008)073001(13pp)
7) 松本佳宣,江刺正喜,絶対圧用集積化容量形圧力センサ,電子情報通信学会論文誌C-II,J75-C-II,8(1992)451-461
8) T.Nagata,H.Terabe,S.Kuwahara,S.Sakurai,O.Tabata,S.Sugiyama and M.Esashi,Digital compensated capacitive pressure sensor using CMOS technology for low pressure measurements,Digest of Technical Papers Transducers’91,San Francisco,USA(1991)308-311
【著者紹介】
江刺 正喜(えさし まさよし)
東北大学 名誉教授
■略歴
昭和46年東北大学工学部電子工学科卒。51年同大学院博士課程修了。
同年より東北大学工学部助手、56年助教授、平成2年より教授となり、現在名誉教授。
東北大学 マイクロシステム融合研究開発センター(μSIC)センター長。
半導体センサ、マイクロマシニングによる集積化システム、
MEMS(Micro Electro Mechanical Systems)の研究に従事。
受賞:
電子通信学会業績賞(昭和55年)、日本IBM科学賞(平成5年)、SSDM Award(平成13年)、第3回産学官連携推進会議文部科学大臣賞(平成16年)、紫綬褒章(平成18年)他
松尾産業、合成ダイヤモンド製造を目的とした新会社設立-オゾン水需要の増加に対応
松尾産業(株)は、2021年4月1日に、合成ダイヤモンドを製造・販売するDiaM(株)を設立した。
■新会社設立の背景
松尾産業は千葉工業大学坂本教授の技術協力を得て、導電性合成ダイヤモンドを量産レベルで製造できる技術を確立した。
導電性合成ダイヤモンドは電気分解処理での電極活用が期待されており、近年、コロナ禍による影響で注目されているオゾン水の生成等にも利用されている。又、従来の電極では対応出来なかった各種溶液や廃液の脱色・成分分解、有機物合成や各種センサといった分野への応用も期待されている。
導電性合成ダイヤモンドの量産が可能な企業は未だ世界でも数社しか存在しておらず、DiaMでは高まる環境保護や衛生対策といった需要に応えていくべく、更なる生産体制の増強を図っていくという。
■導電性合成ダイヤモンドについて
ボロンをドーピングする事で高い導電性を有した人工のダイヤモンド。ダイヤモンドの持つ高耐久性や特異な電気特性を利用することで、過酷な環境下でも利用する事が可能な電極として期待されている。
ニュースリリースサイト:https://prtimes.jp/main/html/rd/p/000000001.000077442.html
ノーマル油圧ショベルをICT建機にアップグレードできる「ショベル用高精度3Dガイダンスシステム」リリース
(株)FAG(エフエイジ―)は、このたびFJ Dynamics社(以下、FJD)が開発した「ショベル用高精度3Dガイダンスシステム」をリリースする。
この製品はショベル専用に開発された「高精度3Dガイダンスシステム」。ノーマル油圧ショベルであればメーカー問わず取付が可能となる。最大精度±3センチで「精密施工」「法面整形」「掘削/整地」といった各種作業を実行出来る。
◎「ショベル用高精度3Dガイダンスシステム」の概要
▼準備
各種姿勢センサと高精度ミリ波レベルセンサを所定位置へ取付、GNSSアンテナと4Gアンテナを設置。最後にモニター付き専用コントローラーを取り付けた後、各種セットアップ対応が完了。
▼主な取付機材
・バケット姿勢センサ
・アーム姿勢センサ
・ブーム姿勢センサ
・本体姿勢センサ(高精度ミリ波レベルセンサ搭載)
※上述した4つのセンサがすべて高精度ミリ波レベルセンサであり、高精度ミリ波レベルセンサにより複雑な作業環境においても高度な作業を実現。
・GNSSアンテナ(GNSS衛星データを受信し緯度と経度情報を取得)
・4Gアンテナ(4G通信を実現)
・車載コントローラー(10.1インチハイライトタッチディスプレイ)
▼作業精度
最大±3センチ
ニュースリリースサイト:https://prtimes.jp/main/html/rd/p/000000003.000053999.html
自律移動ロボットに最適な測域センサ(LiDAR) USTシリーズに新モデル
北陽電機(株)は、AGVや自律移動ロボット(AMR)に最適な測域センサ(LiDAR)USTシリーズに新たな機能を追加した新製品UST-30LCを2021 年4月に発売する。
北陽電機はUSTシリーズの最上位機種として自律移動ロボットに必要とされる検出性能と屋外でも使用できる環境性能をコンパクトなサイズで実現したUST-30LXを2020年7月に発売した。
UST-30LXは検出物の位置情報をEthernetインターフェースにより出力する「データ出力タイプ」だったが、今回新たに発売するUST-30LCは「データ出力タイプ」の機能に加えて、あらかじめ設定した検出エリアに対象物がある場合に信号を出力する「エリア設定タイプ」の機能を追加したモデル。
自律移動ロボットは周囲の環境を認識しながら地図(マップ)を作成するとともに、自分の位置を認識(SLAM)しながら目的地まで移動する。同時に走行中に周辺の障害物を検出し回避する必要がある。UST-30LCは「データ出力」、「エリア設定」の二つのモードを使うことで自律移動ロボットに必要な両方の機能を1台のセンサで実現できるという。
さらに、UST-30LXでは検出精度をあらわす角度分解能は0.25°だったが、UST-30LCでは0.125°となり、さらに高精度な検出が可能とのこと。
ニュースリリースサイト(hokuyo):https://www.hokuyo-aut.co.jp/topics/detail.php?id=148
ドライバーモニタリングシステムのプロトタイプが完成
住友理工(株)は、自動車(トラック、バスを含む)など各種モビリティが走行する際の振動環境下でも、座るだけでバイタル(心拍・呼吸)、体動情報などの情報を取得できる「ドライバーモニタリングシステム」の開発を進めていたが、このたび、シートに設置できるプロトタイプが完成したと発表した。
自動車業界では現在、カメラやレーダーなどによって走行時の安全性や快適性を高める研究開発が盛んに進められている。これらに加えて、走行中に発生する振動環境下でも、乗員のバイタルデータが計測できる本製品を使用することによって、人々の安全な移動に、より一層貢献できると考えている。特に、乗員自身が気づかないような心拍や呼吸の微細な動きをセンサで捉えられるため、システムを通じて乗員の体調変化にいち早く気づくことにつながり、乗員の健康管理や交通事故の未然防止など、さまざまなサービスへの応用が期待されるという。
※就寝時などにベッドやマットレスに設置してバイタルデータを取得できる「体動センサ」(医療機器認定)は2019年よりモニター販売を実施中。
<ドライバーモニタリングシステムの仕組みと目的>
本製品は、当社独自開発の柔軟で電気を通す特殊なゴム材料「スマートラバー(SR)」を用いたセンサ。シートに設置するだけで、座面に伝わる微弱な振動を検知し、独自のアルゴリズムで心拍数や呼吸数、体動情報を推定することが可能。スマートフォンや各種ゲートウェイなどを介して通信することによって、クラウド上で状態推定解析を行うことが可能なアプリケーションやサービスへの活用を想定している。
従来、自動車走行中は路面やエンジンからの振動が大きく、心拍数や呼吸数を推定するのは困難だった。同社では100名以上の被験者の協力により、実車評価を延べ5,000km以上実施。アルゴリズムの改善を繰り返すことで、心拍数、呼吸数の推定精度が格段に向上した(悪路など、異常時を除く)。
現在、「先進安全自動車(ASV)技術の実用化による交通事故削減に向けたガイドライン」などの策定が推進されており、乗員状態検知の重要性が高まる中、本製品は、座るだけで乗員のバイタルデータを取得できるのが特長である。
将来的には、眠気を感知した際にアラートを出したり、異常時対応システムに発展させたりすることで、安全性向上につながる。さらに、バスやトラック、タクシーなどの事業者による安全な運行管理にも寄与できる可能性も考えているとのこと。
<プロトタイプ概要>
発売時期 今夏より、企業向けモニター販売予定
仕様 寸法(縦×横):600mm×375mm(付属部除く)
厚み(着座部):約35mm
出力データ(推定値):心拍数・呼吸数・体動情報
通信規格:Bluetooth Low-energy
電源 車内シガーソケットなど(5V、2.4A以上)
ニュースリリースサイト(住友理工):
https://www.sumitomoriko.co.jp/wordpress/wp-content/uploads/2021/03/n51910569.pdf
専用センサーデバイス装着のスクラップリムーバーで高い搬送能力と省スペースを実現
パンチ工業(株)は、初となる専用センサーデバイス(別売り)装着のスクラップリムーバーの販売を開始し、2021年2月からデモンストレーション機も用意している。
◇本製品の特長は以下の通り
【世界初】(パンチ工業による)
世界初となるスクラップリムーバーの非稼働を知らせるセンサーデバイスの装着が可能。
これにより、加工機による生産継続時に、スクラップリムーバーが非稼働状態となっても、瞬時にセンサーデバイスがこれを検知しアラームを発信する。
アラームを加工機の停止信号と連動させることで、スクラップ詰まりに起因する2度打ちの防止や⾦型本体の損傷を未然に回避でき、修理コスト削減にも貢献する。
【搬送能力50kgとハイパワー】
搬送能力50kgとハイパワーながら稼働に使うエア消費量も少なく省エネ、製品高さを27mmに抑え、ベルトコンベア等が入らない狭い場所にも設置可能なコンパクト設計で省スペース、本体の取り付けはボルト4本の設計・組立の面でも省工数の商品を低価格で実現。
【製品搬送も可能】
搬出量が多い並びにシューターの角度が取れない、油が付着していて材料が上手く流れないなど、既存の搬送装置では対応が難しかった状況でも安全・安定に、かつ確実に材料を搬送する。
【省人化で利益貢献】
今まではシューターに溜まった金属片や製品そのものを定期的に掻き出していた作業を省人化可能。
【環境にやさしい】
動力源は圧縮エアのため電源は不要、また振動による搬送機構を採用しているため、コンベアのようなベルト交換も不要な“環境にやさしい”商品。
ニュースリリースサイト(punch):
http://www.punch.co.jp/companyinfo/company2015/20210331_company_news_2.pdf
脳活動の多人数同時計測システム(研究用途)の発売開始
東北大学と(株)と日立ハイテクのジョイントベンチャーである(株)NeUは、8人までの前額部での脳活動を同時に計測し表示するシステムMPMS-HOT-2000-8(4人用はMPS-HOT-2000-4)を発売する。
MPMS-HOT—2000-8は、同時に8人までの脳活動をリアルタイムに計測し画面に一覧でモニタリングすることができ、同期したデータログが保存できる。脳活動センサHOT-2000は複雑なセットアップの必要がなく、容易に装着・計測を行うことができる。またワイヤレスで計測できるため、日常的な環境、たとえば、授業や会議、共同作業など人と人とのコミュニケーションの可視化や、一度にたくさんのデータを取得したいなどの用途に適しているとのこと。
システムの構成は、以下のとおり。
・ 脳活動センサー HOT-2000 8台 (4台)
・ コントロールセンター(PC) 1台
・ 計測ターミナル(PC) 2台 (1)
・ Ethernet Hub 1台
・ Ethernet ケーブル 3本(2)
・ 計測アプリケーション 1式
・ 専用ケース 1式
【「HOT-2000」について】
「HOT-2000」は、近赤外光を用いた脳機能計測技術NIRS(Near Infrared Spectroscopy)を活用した最新の開発製品。微弱な近赤外光を使って前額部の2点を計測するヘッドセット形状のウェアラブル型装置で、重量が約129グラムと軽量であり、装着してからすぐに計測が開始でき、日常環境でも手軽に使用することができる。装置本体は片手でひもを引くだけのワンタッチ装着、センサ部分はスライド機構となっており、左右60mmの範囲で調整ができ、リチウムイオン電池を搭載することで約4時間連続使用が可能。
プレスリリースサイト(NeU):https://neu-brains.co.jp/information/products/2021/03/29/1856.html
