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国内初、高齢者住宅に配膳・運搬ロボット「Servi」を試験導入

ソフトバンクロボティクス(株)の配膳・運搬ロボット「Servi(サービィ)」が、2021年4月19日から4月23日までの期間、(株)ジェイ・エス・ビーが運営するサービス付き高齢者向け住宅「グランメゾン迎賓館京都嵐山」に試験導入される。高齢者住宅への「Servi」の導入は日本国内では初の試みとのこと。

「Servi」は、飲食店やホテル・旅館、小売店などで従業員と共に働くことを目的に開発された配膳・運搬ロボットで、2021年2月から販売が開始された。店舗の業務効率化や顧客満足度の向上に加えて、来店客との直接的な接触を削減するなど、ニューノーマル時代に合った使い方も可能という。

ジェイ・エス・ビーでは、新型コロナウイルスの感染拡大防止に努めながら、高齢者住宅でのサービス提供を行っている。感染防止対策加の一環として、「Servi」の実証実験に先駆け、3月25日より「グランメゾン迎賓館京都嵐山」と「グランメゾン迎賓館大津大将軍」にソフトバンクロボティクスの除菌清掃ロボット「Whiz i(ウィズ アイ)」が導入されている。
今回、入居者とスタッフがより安心して過ごし働ける施設づくり、またスタッフの負担軽減と生産性向上の両立を目的として「グランメゾン迎賓館京都嵐山」に「Servi」が試験導入される。「Servi」の高齢者住宅への導入は今回が日本国内では初めての実証実験となるとのこと。

「グランメゾン迎賓館京都嵐山」に試験導入される「Servi」は、同施設の食堂スペースで配膳と下膳を行う予定。「Servi」が食事を席の近くまで運び、最後のテーブルへの配膳はスタッフが担当することで、サービスの質を低下させることなく、食事中の入居者とスタッフの接触を減らして感染対策をしながら、スタッフの負荷も軽減することを見込んでいる。

ソフトバンクロボティクスはジェイ・エス・ビーと協働し、入居者様とスタッフの健康と安心を確保できるニューノーマル時代の施設運営の形を追求していくとしている。

ニュースリリースサイト(softbankrobotics):https://softbankrobotics.com/jp/news/info/20210419a/

pHセンサの動向と最近の話題(2)

(株)堀場アドバンスドテクノ
辻 皓平

3.測定作業に対する市場要求と水質計器のトレンド

pH電極としての技術は前回紹介したように、小型化・安価を目指して日々進歩しているが、既存の測定シーンにおいてはまた違った視点での市場要求も存在する。例えば、河川から上水に至るまで環境水の水質モニタリングにおいてはpHの他、電気伝導率、溶存酸素、濁度など複数の項目を測定することが必須となっている。各項目を個別に測定していては時間と労力がかかるため、そのようなシーンでは他項目を同時に測定できるマルチ水質計がしばしば用いられる。これまでも工業用として販売されている多くのオンライン型計器では、複数のセンサで同時多項目測定をしてきたが、近年では、オフライン型の低価格な水質計器においても簡易な操作で多項目測定を行いたいという需要が増えつつあり、小型のマルチ水質計も開発されている。加えて、これまで計器側にあった電子基板をセンサ側に移すことで、校正結果をセンサ側に保存し、計器に接続するセンサを交換した際の再設定・再校正が不要となったデジタルセンサも登場している。こちらは実験室でセンサを校正してから現場へ持っていくことで、現場での校正作業の負担を減らすことができる点がメリットとなっており、これにより操作性も一段と向上した14)。またセンサ部でpH信号をデジタル化することでIoTの一部に組み込み、センサと他の機器を連携させることもできる。例えば、値が基準値より低い場合には付属の装置を作動させ自動で薬液を投入するといったシステム構築などが考えられるが、今後はこのような方法でスマート工場などにおける省人化に向けた取り組みも加速していくだろう。

またpH電極としても、より労力をかけずに簡易に測定したいという要望は強い。上述したような内部液が不要な電極の開発により参照電極の技術も進歩しつつあるが、実用的にはまだ一部を除いてKCl塩橋が主流である。一般的な電極では内部液の補充や液絡の目詰まりに対する洗浄などが必要であるが、そのような負担を軽減できる電極として、KClポリマーゲルを比較極に充填したタイプも好んで使用されている。ポリマーゲルタイプはKClの流出が遅く、都度の液補充が不要であることが特徴である。中には液絡を完全に開放したタイプもあり、こちらはサンプルによる液絡の目詰まりがなく、さらにメンテナンスの手間が軽減されるよう工夫されたものとなっている。特に工業用のpH電極ではメンテナンスフリーであることは必須であり、非水性で溶出しにくく、耐薬品性も高いゲルが使用されている。またKClの顆粒を添加することで比較極を長寿命化するなどKCl塩橋技術としての改良も続けられている。このように低メンテナンス性を追求することもひいてはpH測定の省人化につながるものとなっており、将来的には測定準備からデータ解析・後工程を一連の作業を無人あるいは遠隔操作で行い、異常時の処置まで自動で完了するようなシステム構築がさらに求められるようになると予想される。

図3 遠隔操作によるpH自動測定とデータ確認

4.今後のセンサ技術の展開

近年、健康管理への関心の高まりやセンシング技術の進歩により、心拍数や活動量などの生体情報のモニタリングを可能とするウェアラブルデバイスが普及しつつある。中でも汗中のイオンやpHなどの測定は簡易に体内状態を知るための1つの手段であり、そのモニタリングを可能とするデバイスの開発は盛んに行われている。しかし、固体化・小型化への課題を完全にクリアできてないことから、pHセンサの搭載されたウェアラブルデバイスは未だ市販されるには至っていない。上記に紹介した技術の進展によって安価で小型化なpHセンサが利用可能になれば、pH以外のイオンセンサあるいは導電率センサとの組み合わせも含め、このような新しい測定アプリケーションが大幅に拡大する可能性もある。ウェアラブルだけでなく、例えば、微小センサにワイヤレス通信を組み合わせることで、体内投与したセンサで臓器の情報をリアルタイム監視しながら薬剤の投与タイミングを計ることも可能と考えられる。農園、牧場、漁場や工場においては環境のモニタリングの他、個体識別や追跡と合わせて測定データを管理し、品質の分析が進むだろう。このようにそれぞれのシーンに適した性能・コストのpHセンサに、デジタル化・無線化に代表されるIoT技術を掛け合わせることで、今まで見えなかったデータを可視化し、ばらばらに取得されていたデータ間の関連性を評価することができる。これにより今までにないような高付加価値なデータを提供できるようになり、その結果、商品・サービスの高品質化、高効率化のためにpH測定が当たり前に行われる時代が到来すると考えられる。

参考文献

14) Y.Komatsu,HORIBA Readout,54,79-81(2020)



【著者紹介】
辻 皓平(つじ こうへい)
株式会社堀場アドバンスドテクノ 開発本部

■略歴
2016年 株式会社堀場製作所へ入社。
                   pH、イオンセンサの開発業務に従事。
2017年 株式会社堀場アドバンスドテクノへ転籍。
                   引き続きセンサ開発業務に従事し、現在に至る。

ダイヤモンドを用いたナノメートルサイズのpHセンサ(2)

京都大学 大学院工学研究科
藤咲 貴大
(量子科学技術研究開発機構
五十嵐 龍治)

3.<pHの可視化>

実際の医療の現場で用いられているMRIに代表されるように、物理量をその位置情報と同時に可視化する技術は有用である。微小空間中のpHにおいても、その変化と位置を同時に可視化することで、細胞生物学において重要な知見が得られると考えられる。我々のグループでは、これまでに開発したFNDを用いたpHセンシング技術を応用することで、微小空間のpH情報と位置情報を同時に可視化する方法を開発した3)。まず、カルボキシ化したFNDを用いて、種々のpH条件下で蛍光画像を取得した。そしてピクセル毎のT1に対して重み付けを行うことで、T1強調画像を作成した。カルボキシ化したFNDのT1はpHを反映するため、T1強調画像はpH依存的に変化した(図4)。したがって、今回開発した微小なpHセンサを用いることで、微小空間のpHとその位置を同時にモニターすることが可能である。

図4 カルボキシ化したFNDを用いた、種々のpH条件下でのT1強調画像。カルボキシ基の電荷状態が大きく変化するpH4から5付近でT1強調画像が変化した。したがって、機能化したFNDを用いることでpHとその位置をモニターすることが可能であった。

4.<pH感受領域の制御>

これまでに示した通り、FNDをカルボキシ化することで、pH3から9の範囲でpH変化をセンシング可能であることを示した。しかしながら、一般的な状況では、測定したいpHの範囲が3から9であるとは限らない。したがって、測定可能なpHの範囲を制御する必要がある。この目的のために、FNDをカルボキシ基と異なるチオール基で修飾する方法を考案した。チオール基はpH10から11以下では電荷を持たない状態(-SH)であるが、それ以上の塩基性条件下で負電荷状態(-S-)に変化する。それに対応して、チオール基を修飾したFNDは、pH10から11付近でそのT1が大きく変化した(図5b)。また、pHを7と11で交互に変化させたところ、T1が交互に変化したことから、可逆的にpHをセンシング可能であることが示された。したがって、修飾する官能基を変化させることで、測定可能なpHの範囲を制御できることが示された。この手法は、より汎用的な場面で、FNDを用いたpHセンシングを可能にすると考えられる。

図5(a) チオール基の修飾方法。L-cysteineをNHS/EDCカップリングを用いてFND表面に修飾した。
図5(b) チオール基を修飾したFNDのT1のpH依存性。
チオール基の電荷状態が大きく変化するpH10から11付近でT1が大きく変化した。

図5(c) チオール基を修飾したFNDを用いたpHセンシングの可逆性の評価。
pHを11と7で交互に変化させた際にT1が交互に変化したことから、可逆性を有していることが示された。

<終わりに>

本項ではFNDを用いた微小空間のpHセンシング技術についてまとめた。この技術は、たとえば、細胞内に存在している局所的なpH分布が、実際にどのように生命現象に関連しているのかを明らかにすることに役立つと期待される。それによって、がんや心不全、脳卒中をはじめとする様々な病気の詳細なpHの特異性が明らかになり、これら病気の早期診断につながると考えられる。
また、今回開発したFNDによるpHセンシング手法は、従来の方法と比較してセンサの小ささや空間分解能の点で優位性があるが、感度の面では未だに改善の余地があると考えている。その上、FNDのT1はpH以外の物理量からも干渉を受けることが知られているため、今後選択性の強化も重要であると考えられる。このような改善を一つずつ加えていくことで、FNDを用いたpHセンシングが、より汎用的な場面で使用可能な技術に成熟していくことを期待している。

参考文献

[3] Fujisaku,T.et al.,Nanometre-Scale Visualization of Chemical Parameter Changes by T1-Weighted ODMR Imaging Using a Fluorescent Nanodiamond. Chemosensors,8, 68(2020).



【著者紹介】
藤咲 貴大(ふじさく たかひろ)
京都大学 大学院工学研究科 分子工学専攻

■略歴
2016年京都大学工学部工業科学科卒業。2018年京都大学大学院工学研究科分子工学専攻修士課程卒業。2018年から現在まで同博士課程に在籍。
これまで、NVCを用いた新規pHセンシング手法の開発に取り組んできた。今後は、pH以外の物理量の測定方法の開発や生体への応用など、NVCを用いた量子センシング技術の汎用化に挑戦していきたい。

海洋pH観測のセンサ開発とXPRIZEへの挑戦(2)

海洋研究開発機構
研究プラットフォーム運用開発部門
三輪 哲也

XPRIZEにおけるトーナメント結果

Wendy Schmidt Ocean Health XPRIZE では、次の課題が設定された。「海洋の酸性化を知る手段は、少数の科学者の研究結果からもたらされている。しかしこの分野での民間の投資はほとんどない。海洋pH計測は海の健康をはかる大事な指標の一つだが、大規模な展開をするには高価すぎる。操作が複雑で、専門家のメンテナンスと再較正が必要。イノベーションの速度が遅いので、年単位の変化に十分なほど対応出来ていないし、長く持続できていない。新世代の改良された経済的なpHセンサの作成を促進させることが必要で、より安価で正確で、すべての海洋深度で操作できるpHセンサの提供が、最終的な目標である。」そこで、Wendy Schmidt Ocean Health XPRIZEには2つの賞が用意された。Affordability Prize (手頃な価格で使いやすく正確なpHセンサの開発)と、Accuracy Prize (最も正確で安定に機能するpHセンサの開発)である。これらを競うため、4つのフェーズをクリアし、勝ち抜き戦を繰り広げた。
 フェーズ1は書類審査で、世界中の企業や大学、高校まで含め77チームがエントリーした。HpHSチームも、2014年6月にエントリーを済ませ、モントレー湾水族館研究所の試験水槽でフェーズ2の作動試験を実施した。ガレージにて組み立て、水槽内に設置し、pHの変動をとらえられるかのトライアルが行われた。実に多様のpHセンサが試された。(図3)



図3 ガレージでのpHセンサ組み立ての様子。右端がHpHSチーム。組み立てたpHセンサは、試験水槽に吊るされ、水槽全体のエアバブリングによりpHを変化させたときの追従ができるかを評価した。
赤矢印にHpHSが吊るされている。(写真提供:XPRIZE財団)

フェーズ3においては、ワシントン州のシアトルにあるシアトル水族館において、ピアから海水をくみ上げ、水族館の来訪者に観覧されながら、数か月の長期計測が実施された。フェーズ2~3では、バッテリーの交換などのメンテナンスだけとし、同一の機体を用いた。ファイナルフェーズにおいては、2015年5月にハワイ沖のSatation Alohaの海域において、ハワイ大学の「キロモアナ号」を用いた観測試験を行った(図4)。この決勝戦には5チームが進出し、HpHSチームもファイナリストとして参加した。われわれのほかは、イギリス、アメリカ、ノルウェーのチームであり、海洋観測における世界的なメーカー2社からのチームも含まれていた。海表面から水深3,000mまでの鉛直観察を行い、同時に行った採水器からサンプリングした海水のpHデータと比較して、評価された。
 最終審査はフェーズ2~4の結果を総合的に判断し、決められた。観測値の正確性(審査側が定めた標準値からの誤差の小ささ)、繰り返し性(複数回計測時の値のバラつきの少なさ)などに加え、長期安定性(長時間の計測におけるドリフトの小ささ)、扱いやすさや丈夫さなどが評価され、Accuracy Prizeにおいて、HpHSチームは3位を獲得した。

図4 ハワイ港をでる「キロモアナ号」甲板の5チームのpHセンサ。ファイナルフェーズでは同一条件の競争をするため、5チームのセンサがCTD採水器に取りつけられている。HpHSはやや下につきだしているが、赤矢印の先に配置された。CTDセンサはカルーセルの左下に見える。CTDセンサに比べると、pHセンサはいずれも大きい。採水器で採取した海水を精密に測り、各チームのpHセンサのデータと比較した。(写真提供:XPRIZE財団)

XPRIZEでイノベーションは加速したのか

Accuracy(正確性)とAffordability(手ごろ感)の両方で勝者となったのは、モンタナ大学からのベンチャー企業であるSunburst Sensorsチームであった。彼らのpH計測法は比色法であり、海洋pH計測においては、比色法の信頼性が高いことがあらためて示された。2位についたのは、海洋機器の世界的大手メーカーからのDurafetチームであった。ISFET半導体電極法を採用し、丈夫さとともに、実用展開に最も近い海洋pHセンサを自負した。これらの2機体は、XPRIZEが開催される前から米国で著名な装置であり、より改良が進んできている。HpHSはガラス電極法としてはもっとも良い成績を示したが、比色法も採用しているため、データそのものはSunburst Sensorsチームと引けを取らなかった。何が評価を下げたのかをみると、装置全体の大きさや、製造価格などAffordabilityが至らなかったことであった。2つの異なるセンサをハイブリッドさせたため、どうしても装置が長くなり、また全重量が重くなったため外装などを省略していた。Sunburst SensorsチームとXPRIZE後に情報交流を行い、制御基板の整理・流路設計のコンパクト化や、試薬使用量の少量化など、特許部分に触れないところでの課題を抽出した。比色法と他の手法を組み合わせた私たちの海洋pH計測法は、無理なく安定した値が得られる方法として発展改良が可能であり、XPRIZE参加前に比較的軽視していた扱いやすさを大幅に改善した次世代型のHpHSの開発を進めており、将来的にマイクロ流路技術を取り入れていこうとしている。

JAMSTECは西太平洋亜寒帯域の時系列観測点Station K2の海洋酸性化研究を継続しており、2015年からHpHSを係留設置し、精度の高い高頻度のpHデータの取得を実施している。2016年には北極域で、2019年には南極底層水の生成過程の解明を目指して、南極沿岸に2台を係留し、観測を行っている。XPRIZEが目指していたイノベーションの加速という点では、次世代型のHpHS開発において、海洋酸性化研究の用途だけではなく、二酸化炭素の地層回収・貯留(CCS)における海底での二酸化炭素漏洩モニタリングや、海底熱水鉱床などの開発に伴う環境影響評価への活用も見込んでいる。また、二酸化炭素排出を吸収し、温室効果ガスの増大を止めるカーボン・オフセットを評価する指標とするためにも、人の行けない環境の状態をはかるため、様々な海洋や水中の現場で、高精度高頻度なpHデータを取得し、海洋研究に貢献していく。ゆくゆくは、養殖業や水産業など、科学研究目標以外のユーザーに、海洋pH計測の活用が広がっていくことを期待したい。
最後に、2015年にHpHSが 「Wendy Schmidt Ocean Health XPRIZE」で3位を獲得した際のリリース7)およびPR動画をYouTube公開8)しているので、ご覧いただければ幸いである。



【著者紹介】
三輪 哲也(みわ てつや)
国立研究開発法人海洋研究開発機構 研究プラットフォーム運用開発部門
技術開発部 調査役

■略歴
愛知県名古屋市生まれ
1991年 東京工業大学大学院理工学研究科化学工学専攻博士課程修了
同年 新技術事業団創造科学技術推進事業 永山たん白集積プロジェクト 研究員
1995年 東京大学大学院工学系研究科応用化学専攻藤嶋研究室 助手
1998年 海洋科学技術センター 深海環境フロンティア 研究員
2008年 独立行政法人海洋研究開発機構 海洋工学センター先端技術研究プログラム グループリーダー
2019年 国立研究開発法人海洋研究開発機構 研究プラットフォーム運用開発部門 技術開発部 調査役 現在に至る。 博士(工学)。

明治大学大学院理工学研究科 客員教授
横浜市立大学大学院生命ナノシステム科学研究科 客員教授

IoT時代のキーデバイスMEMSセンサ(2)

東北大学 マイクロシステム融合研究開発センター
江刺 正喜

3.光スキャナ式画像センサ(センサ+アクチュエータ)

アクチュエータを組み合わせたセンサの例として光スキャナ式画像センサを紹介する。図8に電磁駆動による2軸光スキャナの構造を示す9)。シリコンのジンバル構造に駆動用コイルと鏡が形成されており、電流を流したコイルと外部の磁石の間に働く電磁力により鏡を2方向に偏向させることができる。なおこのセンサではガラス上の検出用コイルで鏡の向きを検出することも可能である。

この2軸光スキャナは、3次元的な距離画像センサ(レンジイメージャ)として用いられている。図9にその原理を示すが、光は1nsで30cm進むため、パルスレーザの光が対象で反射されて戻るまでの飛行時間から、対象までの距離を知ることができる。レーザ光をスキャンし反射してきた光を検出するのを電磁駆動2軸光スキャナを用いて行うことにより、距離画像を得ることができる10)。図9中に示す画像の色が距離に対応している。このシステムは東京の山手線の駅に設置されているプラットフォームドアに用いられており、飛び乗る人などを検知し事故を防ぐのに役立っている。なおこのレンジイメージャは、これからの自動車の自動運転に必要なLIDAR(Laser Imaging Detection and Ranging)としても開発されている。このシステムの場合は、光スキャナを通して戻ってきた光を検出するため、背景光の影響を受けにくい。

図8 電磁駆動2軸光スキャナ
図9 電磁駆動2軸光スキャナを用いたレンジイメージャ

以上のような電磁駆動以外に、静電駆動や圧電駆動などを用いた光スキャナも開発されている。図10は圧電薄膜をアクチュエータに用いた圧電駆動光スキャナの写真である11)。チタン酸ジルコン酸鉛(PZT)にNbを添加したPNZT薄膜を、シリコンの梁に3μm厚でスパッタ堆積により形成してあり、薄膜の上下の電極に電圧を印加すると、シリコン梁が曲がってばねで接続されたミラーを共振駆動することができる。なおこのばねに圧電薄膜を形成し、圧電センサとしてミラーの動きを検出することも行っているが、これによって共振状態に制御することが可能になる。このミラーは図11のような内視鏡型のOCT(Optical Coherent Tomography)プローブに用いられている。OCTは眼の断層画像を撮るのに使われているものであるが、この内視鏡型プローブの場合は、Swept-Source OCTと呼ばれるレーザの波長を変化させて異なる深さの情報を得る方法を用いた。これには波長可変の速度に対し、遅い速度で鏡を動かす必要があり、100Hz程度の低い共振周波数になるようにして用いている。図11の下はこれによって得られた指先の断層像であるが、写真の左右方向をスキャンするのにこのスキャナを使用する。

図10 圧電駆動光スキャナ
図11 圧電駆動光スキャナを用いたOCTプローブとそれによる指先断層像

4.静電浮上回転ジャイロ(センサ+回路+アクチュエータ)

高精度に2軸の角速度や角度を検出できる静電浮上回転ジャイロが1952年にイリノイ大学で開発された12)。その構造を図12に示してある。原子力潜水艦の場合に、水中では人工衛星からのGPSの電波を受信できないが、この静電浮上回転ジャイロを用いることによって高精度な航行制御が可能になった。この場合直径5cm程の金属球が、浮上用電極との間の静電容量と外部コイルによる共振特性を利用した受動回路により真空中で浮上する。球の重心は中心から僅かにずれて偏心しており、それを利用し毎分12,000回転させる。

図12 原子力潜水艦用静電浮上回転ジャイロ
図13 ディスク型静電浮上回転ジャイロ

図13はMEMS技術で開発されたディスク型静電浮上回転ジャイロである13)。シリコン板の上下にガラス板が陽極接合してあり、内部で直径5mmの円盤が浮上して回転する。空気の粘性による摩擦を無くするため内部を真空にしている。このために真空中で接合し、また接合時にガラスが分解して発生する酸素ガスを吸着する目的で非蒸発型ゲッタを入れてある。ガラスの内側に電極を形成してあり、円盤と電極との間の静電容量から円盤の位置を検出し、電極に電圧を印加して静電引力を発生させる。これを全方向で行って円盤を浮上・回転させる。回転速度は毎分10,000回転で、浮上のための電圧から3軸加速度、また円盤の回転軸に垂直な2軸の角速度を測定できる。しかしこの構造では円盤を横方向に動かすのに、電極の重なりを変化させる静電アクチュエータを使用しているため大きな駆動電圧(±30V)が必要である。そのためこれを改良したリング型静電浮上回転ジャイロが開発し実用化された。

リング型静電浮上回転ジャイロは図14に示すように外径1.5mmのシリコンリングが浮上し、毎分74,000回転する14)。これは真空にしたパッケージに入れて使用される。電極間隔が変わる方向に静電引力を発生させることで、駆動電圧を減らすことができる。このリング型静電浮上回転ジャイロの制御回路には、図15に示すような高速ディジタル制御を使用する。加速度検出と角速度検出の分解能は、それぞれ2μm/s2、0.01deg/sで高い性能を示す。このようにMEMS技術で小形化し、静電容量型センサやディジタル制御および静電アクチュエータを組み合わせている。

図14 リング型静電浮上回転ジャイロ
図15 リング型静電浮上回転ジャイロ用制御回路

このリング型静電浮上回転ジャイロは、高速ディジタル制御を用いるため消費電力が大きく携帯機器などには適していない。また高速回転で使うために立ち上がりに時間がかかる欠点があり自動車などにも使いにくい。このため東京の地下鉄などの走行中の車体の動きを計測する、モーションロガーに使用されている。

5.触覚センサネットワーク (センサ+ネットワーク)

工業用ロボットは使われるが、介護ロボットはあまり使われない。これはロボットが接触したことを認識できずに危険であり、人と一緒に活動しにくいためといえる。これを解決するためにロボットの体表面に触覚センサを分布させる研究を行ってきた。図16の上は1990年に開発した共通2線式触覚センサネットワークである15)。2本の線に複数の触覚センサが接続されており、共通線は電源供給だけでなく、触覚センサを選択したり、流れる電流(Ip)からその情報を読み出したりする働きがある。図16の下には触覚センサの構成、図17には実際の動作例を示した。共通線の電圧を図17の上のように変化させて特定の触覚センサを選択する。図16下のようにクロック信号とアドレス信号を取り出し、アドレス信号を4ビットのシフトレジスタに入れる。これを設定アドレスと比較して一致すればスイッチ信号(Vs)で、その触覚センサが選択され、荷重に対応して電流Ipが変化して、出力信号が得られる。これをそれぞれのセンサに対して繰り返す。このように一つずつ読み出すシステムは「ポーリング」と呼ばれるが、その欠点はリアルタイムで無いことである。本来はロボットが接触したことをリアルタイムで検出する「イベントドリブン」であることが望ましい。当時研究室でCMOS集積回路を自前で製作していた16)。しかしその集積度は1000トランジスタ(Tr)/チップが限界であった。1990年当時でも企業では100万Tr/チップであり、我々の研究室の1000倍であった。現在では100億Tr/チップであり、100万倍の違いがある。このため我々は、1990年以来CMOS集積回路を自前で製作することを断念した。

図16 共通2線式触覚センサネットワーク
図17 共通2線式触覚センサネットワークの動作例

その後はLSIファウンダリに依頼して製作した高集積CMOSLSIを用い、「イベントドリブン」の触覚センサネットワークを開発している。これでは図18のように、2mm角のネットワーク用集積回路の上に容量型力センサがあり、触覚としての力による静電容量変化を検出する。集積回路からは貫通配線を通して裏面に接続されたフレキシブル基板の共通バスに接続されている17)。この触覚センサネットワークの動作例を図19に示してある。4本の共通バスは電源線(VDD,GND)と信号線(SIG+,SIG)からなり、インターネットなどと同様なパケット通信ネットワークを形成している18)。すなわち接触を検出したセンサは、そのアドレスや荷重データのパケット信号を送出する。45MHzのクロックでこれを高速に行う、リアルタイムのシステムになっている。数十のセンサがつながった共通バスはリレーノードに接続され、複数のリレーノードからロボットのホストPCに割り込みが生じて、接触が検知される。リレーノードは接触で始まる非同期信号からクロック信号を生成する機能などを有している。

図18 触覚センサネットワーク用センサ
図19 オンデマンドパケット通信ネットワークの動作例
 

※この記事はセンサイト2018年7月号で掲載したものを再編集して公開しております。

参考文献

9) N.Asada,H.Matsuki,K.Minami and M.Esashi,Silicon micromachined two-dimensional galvano optical scanner,IEEE Trans.on Magnetics,30,6(1994)4647-4649

10) 石川智之,猪俣宏明,MEMS技術とレーザ計測技術の融合 MEMS光スキャナ「ECO SCAN」を用いた測距センサ,日本信号技報,33,1(2009)41-46

11) T.Naono,T.Fujii,M.Esashi and S.Tanaka,Large scan angle piezoelectric MEMS optical scanner actuated by Nb doped PZT thin film,J.Micromech.Microeng.,24,1(2014)015010(12)

12) H.W.Knoebel,The electric vacuum gyro,Control Engng,11,2(1964)70-73

13) K.Fukatsu,T.Murakoshi,K.Minami and M.Esashi,Measurements of electrostatic force and capacitance for electro-statically levitating inertia measurement system,Technical Digest of the 15th Sensor Symposium(1997)39-42

14) T.Murakoshi,Y.Endo,K.Fukatsu,K.Sigeru,S.Nakamura and M.Esashi,Electrostatically levitated ring-shaped rotational-gyro/accelerometer,Jpn.J.Appli.Phys.,42,Part1 No.4B(2003)2468-2472

15) S.Kobayashi,T.Mitsui,S.Shoji and M.Esashi,Two-lead tactile sensor array using piezoresistive effect of MOS transistor,Technical Digest of the 9th Sensor Symposium(1990)137-140

16) 江刺正喜,「半導体集積回路設計の基礎」(1986) 培風館

17) M.Makihata,S.Tanaka,M.Muroyama,S.Matsuzaki,H.Yamada,T.Nakayama,U.Yamaguchi,K.Mima,Y.Nonomura,M.Fujiyoshi and M.Esashi : Integration and packaging technology of MEMS-on-CMOS capacitive tactile sensor for robot application using thick BCB isolation layer and backside-grooved electrical connection,Sensors and Actuators A,188(2012)103-110

18) 室山真徳,巻幡光俊,中野芳宏,松崎栄,山田整,山口宇唯,中山貴裕,野々村裕,藤吉基弘,田中秀治,江刺正喜,ロボット全身分布型触覚センサシステム用LSIの開発,電気学会論文誌E,131,8(2011)302-309



【著者紹介】
江刺 正喜(えさし まさよし)
東北大学 名誉教授

■略歴
昭和46年東北大学工学部電子工学科卒。51年同大学院博士課程修了。
同年より東北大学工学部助手、56年助教授、平成2年より教授となり、現在名誉教授。
東北大学 マイクロシステム融合研究開発センター(μSIC)センター長。
半導体センサ、マイクロマシニングによる集積化システム、
MEMS(Micro Electro Mechanical Systems)の研究に従事。

受賞:
電子通信学会業績賞(昭和55年)、日本IBM科学賞(平成5年)、SSDM Award(平成13年)、第3回産学官連携推進会議文部科学大臣賞(平成16年)、紫綬褒章(平成18年)他

640画素のラインで512バンドのスペクトル情報を取り込む高分解能ハイパースペクトルカメラ

(株)アバールデータは、(株)分光応用技術研究所と共同開発した近赤外ハイパースペクトルカメラ「AHS-003VIR」を2021年5月より発売開始する。

「AHS-003VIR」はソニー製のInGaAsセンサを採用した近赤外ハイパースペクトルカメラ。640画素のラインにて、可視領域である450nmから近赤外領域の1700nmまでの波⻑を分光し、512バンドのスペクトル情報として取得する。XY座標の二次元空間情報と波⻑軸のデータ(ハイパースペクトル情報)を同時に取得できるため、対象物の成分分析・識別(物質ごとに異なる光の吸光度の変化によって成分を算出する)できる。可視光だけでは見ることのできなかった対象物を非破壊・非接触で測定や検査が可能となる。
「AHS-003VIR」は、センサにペルチェ素子(冷却機能)付きタイプを採用しており、温度変動にも強い構成のため、工場などのインラインで安定した撮像を可能にしているという。

製品名:ハイパースペクトルカメラ
型式名称:AHS-003VIR(価格:オープン価格)
受注開始:2021年5月10日
出荷開始:2021年6月7日

■AHS-003VIRの特⻑
○感度波⻑:450nm〜1700nm
○波⻑分解能:10.5nm
○画素サイズ:5μm×5μm
○有効画素数:640H(空間) ×512V(分光)

■AHS-003VIRの主な対象分野
○成分分析、異物混入等の検査
○⻘果糖度/タンパク質/水分/フィルムパッケージ検査
○コンクリート壁面検査、気象/鉱物の観察
○バイオイメージング(蛍光) 等の観察
○物質が最も吸収/発散する近赤領域の波⻑帯の調査等

ニュースリリースサイト(avaldata):
https://www.avaldata.co.jp/avalnews/202104/news_210419_ahs003vir_web.pdf

世界初(*1)、フォノニック結晶構造を搭載した遠赤外線センサの 感度向上技術を開発

パナソニック(株)は、一般的なシリコン(Si)の断熱性能を示す物性値限界(*2)を大きく上回ることが出来るフォノニック結晶構造(*3)をSiウェハ上に量産適用可能な作製方法で形成し、デバイス性能を飛躍的に向上させる技術を開発した。本技術を遠赤外線センサの受光部に適用することで、受光部からの熱の漏れを約1/10に抑制し、従来のSiベースの遠赤外線センサに比べて約10倍の感度向上が可能になることを世界で初めて実証した。
こうしたフォノニック結晶を遠赤外線センサに導入し、センサ感度が向上することを実証した世界初の研究成果として、光学、フォトニクス、画像工学分野の国際学会SPIE(The International Society for Optical Engineering)のトップ5カンファレンスの一つであるSPIE Defense + Commercial Sensing 2021にて招待講演で発表した。

〔背景〕
AI・IoT時代における電子デバイスは、今後ますます小型・高密度化が進むことが予測される。それに伴い、デバイス局所の熱漏れや発熱密度の増加が問題視されており、従来手法を超えた高機能な熱制御技術の開発が要求されている。

熱制御技術の近年の研究において、材料にナノメートルオーダーの周期構造(フォノニック結晶構造(*3))を組み込み、熱輸送の担体であるフォノンの伝搬を人工的に操作し阻害することで、従来の物性値限界を上回る断熱性能を実現できることが明らかになってきた。しかし、フォノニック結晶構造の寸法制御性や作製スループットの限界により、フォノンの伝搬制御性を最大限に引き出しきれず、実用的な電子デバイスへの応用は困難だった。

今回同社が開発した技術では、Siウェハ上に量産適用可能な作製方法を用い、数十ナノメートルの孔の直径や整列周期が緻密に制御されたフォノニック結晶構造を実現した。これにより、Si材料の物性値限界を約10倍上回る断熱性能を得ることが可能になった。高感度化が要求される遠赤外線センサに対し、本技術をセンサ受光部を支えるSi支持脚部分に搭載し(図1)、支持脚部分の断熱性能を格段に上げることで、受光部の温度上昇率を大きくし、センサ感度を約10倍に向上させることが可能になったという。

〔特長〕
1. 周期(*5)100 nm未満のフォノニック結晶の量産適用可能なプロセス技術を開発
2. 従来構造の熱伝導率31.2 W/mKと比較して、フォノニック結晶を搭載した遠赤外センサは3.6 W/mKを実現し、大幅な熱伝導率低減を実現
3. 従来のフォノニック結晶を搭載しない遠赤外センサと比較して、10倍の感度向上を実現

〔用語〕
*1:2021年4月16日時点(パナソニック発表)
*2:断熱微細加工で得られる断熱化の限界値
*3:物質中の熱伝導を担う媒体の1つである格子振動を量子化したフォノンに対して、伝搬を阻害する禁制帯を発生させ、フォノンの波動制御が可能となる超微細ナノ周期構造
*4:走査型電子顕微鏡(Scanning Electron Microscope)の略称で、電子線を対象物に照射することで放出される二次電子を結像させ、ナノ構造物を可視化する装置
*5:フォノニック結晶を形成するナノ孔の周期

ニュースリリースサイト(panasonic):
https://news.panasonic.com/jp/press/data/2021/04/jn210416-1/jn210416-1.html

手のひらサイズに3軸手ブレ補正と2.45インチ大型モニターを搭載した「MOZA MOIN Camera」

(株)ケンコー・トキナーは、Gudsen社の新製品、手のひらサイズに3軸手ブレ補正と2.45インチ大型モニターを搭載した3軸モーター搭載4Kジンバルカメラ「MOZA MOIN Camera」の販売を、2021年5月21日より開始する。希望小売価格はオープン。

手のひらで軽く包める小さな本体に、MOZAジンバルの開発技術の粋を詰め込んだ3軸手ブレ補正機能を搭載。大型の2.45インチモニターと120°の超広角レンズは撮影の感動・楽しさをリアルに伝える。本体には電源ボタンと撮影ボタンの2つだけ。
モニターのタッチ操作と合わせて、どなたでも直感的で簡単な操作が可能で、タイムラプスをはじめフェイストラッキング、FPVモードなど多彩な撮影モードも日常の一コマを鮮やかに演出。
MOIN Cameraのために新しく作られた「MOZA Artist」アプリを使えば、スマホからのコントロールや動画、写真の転送、編集作業も思いのまま。

特長
・最大4K/60p収録が可能な1200万画素CMOSセンサーを搭載。
・2.45インチの大型タッチモニターを搭載。90°のチルト回転機能付きなので、見やすい角度をキープ出来る。
・MOZAのジンバル技術を注ぎ込んだ3軸手ブレ補正機能を搭載し、滑らかな撮影を実現。
・120°(焦点距離14mm)の超広角レンズで迫力のある風景撮影を実現。
・本体のボタンは電源ボタンと撮影ボタンの2つだけ。どなたでも簡単に操作可能。
・タイムラプス、パノラマ、スローモーションをはじめフェイストラッキング、FPVモードなど多彩な撮影モードを搭載。

ニュースリリースサイト(kenko-tokina):
https://www.kenko-tokina.co.jp/newproducts/mozamoincamera_news202104.html

高性能センサでジャンプ計測する次世代縄跳び「 SmartRope LED」販売開始

(株)Glotureは、「SmartRope LED」を自社のECサイト(GLOTURE.JP)にて2021年4月15日より販売開始した。

TANGRAM SmartRope LED(タングラム スマートロープ エルイーディー)は、フィットネスデータを表示するLEDが埋め込まれた次世代縄跳び。 専用アプリと連動して仲間とジャンプ数を競い合うこともでき、楽しみながらエクササイズできるという。

〔主な特徴〕
●LEDディスプレイが空中でカウントを表示
ロープに内蔵された23個の高性能LEDがジャンプ数をリアルタイムに表示。 SmartRopeのロープに内蔵されたLEDがマイクロコンピュータ制御で規則正しく発光し、ディスプレイが目の前に浮かんでいるように見える。
●人間工学に基づく快適な角度
ハンドルとロープは最適な角度45度で設計。自然な体勢で手首への負担を軽減し快適に縄跳びができる。
●耐久性のある合金ボールベアリング内蔵
各ハンドルに2つのボールベアリングを使用することで摩擦を効果的に低減し、非常にスムーズで安定したロープの回転を実現。
●ワークアウトを正確に計測する360度センサ
他社製品のような単純なジャイロスコープや加速度計とは異なり、SmartRope独自の高性能センサはロープの回転状況を正確に検出する。
●1回のフル充電で30日 使用可能
SmartRopeは標準のマイクロUSBポートで充電。 SmartRopeは2時間で完全に充電され、36時間の連続使用が可能。1日1時間トレーニングした場合、約30日間は充電不要。
●専用アプリSmart Gymで効果的にトレーニング
Smart Gymは、SmartRopeとシームレスに連携する専用アプリ。 スマートフォンでワークアウトを管理。コンペやリーダーボード機能によりゲーム感覚でトレーニングを楽しめる。
また、LEDの明るさ、バッテリーの状態、ファームウェアのアップグレード、Bluetoothのペアリングなど、SmartRopeを様々に設定できるとのこと。

〔仕様〕
モデル  SmartRope LED
サイズ  W30 × H150 × D30(mm)
カラー  Chrome / Black / Red
長さ   S:243cm(高さ150-165cm)
     M:258cm(165-175cm)
     L:274cm(176cm-190cm)
重量   S:301g / M:308g / L:314g
Bluetooth  4.0LEで接続
LED  5600K x 23 LED
バッテリー  充電式リチウムポリマーバッテリー
ポーチ サイズ  W210 X H210 X D50(mm)重量 60g
同梱物  製品詳細ガイド ポーチ 充電ケーブル(マイクロUSB)

ニュースリリースサイト:https://prtimes.jp/main/html/rd/p/000000964.000032456.html

重機取付型セーフティカメラシステム×クラウド録画サービス「ドボレコJK」

(株)ザクティ、セーフィー(株)、西尾レントオール(株)の3社は重機取付型セーフティカメラシステム「ドボレコJK(SX-DB200)」の提供を開始した。 ドボレコJKはザクティがセーフィーと連携して開発したもので、このたび西尾レントオールが窓口となり、建設・土木現場に向けたレンタルサービスを展開する。

「ドボレコJK(SX-DB200)」について
これまで重機の安全運転のため個別搭載されていた各種機能(監視カメラ・ドライブレコーダー・セーフティアラート)を3in1で実現し、エッジ側でAI画像処理を行う重機取付型のカメラシステム。 リアルタイムでの映像確認およびクラウドへの録画機能により、遠隔からのモニタリングや映像の振り返り視聴・確認も可能とのこと。

<製品の特長>
・2台のカメラで重機の後方と側面を広範囲に撮影
・死角に入る人物を検知し、操縦者に警告
・常時記録、人物検知時の映像記録、通信切断時のローカルバックアップ記録など豊富な撮影モード
・現場の状況を遠隔からリアルタイムにモニタリング

<ドボレコJKプロモーション動画> https://www.youtube.com/watch?v=t1wzYFxPURM

ニュースリリースサイト(xacti):https://www.japanasiagroup.jp/cms/detail/news/20210414