センサを高めるMEMS技術
LSIの中にマイクロ構造体を集積するMEMS技術は、1990年代の自動車用エアバッグ・システム標準化によりMEMS加速度センサが広く普及し、成熟した製品分野へと発展してきた。一方、力学量センサ以外の分野でも様々なMEMSデバイスが開発され、実用化の期待が高まっている。そこで本企画ではFBAR、人口細胞膜センサ、MEMSスキャナ、非冷却IRイメージセンサを取り上げ、専門の研究者に解説してもらうこととした。
センサイト編集部
センサを高めるMEMS技術
LSIの中にマイクロ構造体を集積するMEMS技術は、1990年代の自動車用エアバッグ・システム標準化によりMEMS加速度センサが広く普及し、成熟した製品分野へと発展してきた。一方、力学量センサ以外の分野でも様々なMEMSデバイスが開発され、実用化の期待が高まっている。そこで本企画ではFBAR、人口細胞膜センサ、MEMSスキャナ、非冷却IRイメージセンサを取り上げ、専門の研究者に解説してもらうこととした。
センサイト編集部