MEMS圧力センサ(2)
（一社）センサイト協議会 企画運営副委員長 室 英夫 ３．静電容量式圧力センサ 静電容量式圧力センサでは図3に示すように圧力が印加されるダイアフラムと数μm程度の狭いギャップを挟んで固定電極を設けて可変容量を構成し、印加 […]
カテゴリ: 特集
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圧力計測の種類と特徴(2)
長野計器（株） 取締役 長坂 宏 ５．圧力センサ（変換器） 機械式圧力計は1700年代 ヨーロッパでの産業革命以降から使用され段階的な改良が進められ、それ以降、現在に至っても安定的な需要を維持している。 一方、圧力センサ […]
圧力センサ（圧力計）の応用用途(2)
長野計器（株） 取締役 長坂 宏 ２．４産業プロセス（食品・薬品・化粧品）、水素利用関連 食品・薬品・化粧品 産業は、いわゆる「三品業界」として圧力計測の特徴から分類できる。 三品業界で使用される圧力計・圧力センサは計測 […]
圧力の校正(2)
長野計器（株） 営業企画本部 営業企画部 部長 佐藤 浩二 ５．校正例 ここでは、ブルドン管圧力計（機械式圧力計）で、長野計器製φ300 精密圧力計(0～400kPa、ミラー付、最小目盛り1kPa)の校正を例に、校正時に […]
MEMS圧力センサ(1)
（一社）センサイト協議会 企画運営副委員長 室 英夫 １．はじめに 圧力計測については古くからマノメータやブルドン管など色々な機械式計測装置が考案され、工業計測に用いられてきたが、近年では小型のダイアフラムを用いた電気式 […]
圧力計測の種類と特徴(1)
長野計器（株） 取締役 長坂 宏 １．圧力とは 圧力とは単位面積に印加される力で定義される物理量である。 連続体の中に任意にとった一つの平面を仮定して、この面に作用する垂直応力を圧力と言う。 圧力の表現方法はその用途によ […]
圧力センサ（圧力計）の応用用途(1)
長野計器（株） 取締役 長坂 宏 １．まえがき 圧力は物の反応系やシステムの状態を知る基本的な物理量として利用されてきた。 いわゆる戦後における日本の経済発展時、産業界における圧力計測とその情報利用は機械式圧力計(計測) […]
圧力の校正(1)
長野計器（株） 営業企画本部 営業企画部 部長 佐藤 浩二 １．はじめに 試験や検査時に行われる測定の信頼性を確保するためには、適切な測定方法の採用と計測器の信頼性を確保することが必要である。このうち、計測器の信頼性を確 […]
弾性波フィルタとは何か－FBARやSMRをわかりやすく、詳しく解説(2)
東北大学 大学院 工学研究科ロボティクス専攻 教授 田中秀治 5. スプリアス応答とその対策 スプリアス応答についてその理解を助ける別の説明を試みよう。仮にFBARの振動膜が空中に浮かんでいて、図4 (a)に示すように純 […]
MEMS技術との融合により実現する人工細胞膜センサ(2)
神奈川県立 産業技術総合研究所 大崎寿久 東京大学 大学院 情報理工学系研究科 教授 竹内昌治 ３．ナノポアを利用した人工細胞膜センサ 前節で述べたような脂質二重膜形成デバイスは、標的となる膜タンパク質を脂質二重膜に再構 […]