カテゴリ: 特集

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センシング技術応用研究会からのご挨拶

センシング技術応用研究会会長筒井博司 1.はじめに センサイトの皆様、2020年よりセンシング技術応用研究会会長に就任いたしました筒井博司と申します。ご挨拶を兼ねて、センシング技術応用研究会の紹介をさせていただきます。 […]
極高真空(XHV)技術とその応用(2)

極高真空(XHV)技術とその応用(2)

一般社団法人センサイト協議会常務理事 島田芳夫 4 極高真空の質量分析への応用 4.1 四重極分析計 WATMASS-MPH 四重極方式(QMS)の質量分析計で、通常のQMSではセンサ先端部のイオン源からのガス放出のため […]

半導体製造へのAI活用(2)

東京エレクトロン(株)先端データ企画部部長 守屋 剛 4.半導体製造プロセスにおける最適化事例 半導体デバイスの微細化、および3次元化により、ターゲットとなる特性(カバレッジ、膜特性、均一性等)を同時に満たすプロセス条件 […]