「真空技術」
近年の社会生活は真空技術を抜きにしては成り立たない。電子部品・自動車・食品・医療から土木工事まで幅広く真空が使われている。また各種工業製品・生活用品の製造過程でも真空技術が多用されている。特に半導体産業は高度な真空技術に立脚していると言える。今月は重要な基盤技術となっている真空技術について、測定技術から標準、半導体分野でのシステム活用、さらにはこれから活用が広まる極高真空分野の話題を取り上げた。
センサイト編集部
「真空技術」
近年の社会生活は真空技術を抜きにしては成り立たない。電子部品・自動車・食品・医療から土木工事まで幅広く真空が使われている。また各種工業製品・生活用品の製造過程でも真空技術が多用されている。特に半導体産業は高度な真空技術に立脚していると言える。今月は重要な基盤技術となっている真空技術について、測定技術から標準、半導体分野でのシステム活用、さらにはこれから活用が広まる極高真空分野の話題を取り上げた。
センサイト編集部