日立製作所はMEMS技術と回路技術を融合することで、地盤や構造物の微小振動を、高感度かつ低消費電力で検出できるMEMS加速度センサーを開発した。 資源探査や社会インフラのメンテナンスにおけるデジタルセンシングのキーデバイ […]