東京エレクトロン デバイス（株）（以下、TED）は、予知保全を実現する異常判別プログラム自動生成マシン「CX-M」に、原因分析を可能にする「マルチカラム（データ合成なし）モデル生成機能」を追加し、「CX-M ver5.0」として12月12日より提供を開始すると発表した。

予知保全では、装置の稼働データや、振動、センサなどの複数の時系列データカラムを分析し、特徴をとらえて判別モデルを生成する。これまでの「CX-M」は、複数の時系列データカラムを合成してからデータ分析し判別モデルを生成していたため、判別モデルの判断基準、判別モデルによる判定理由の明確化（定量化、可視化）が困難だった。よって、発生事象の原因分析をすることができず、ユーザーの活用方法は判別モデルの判定結果を用いた予知保全にとどまっていた。

「CX-M ver5.0」は、複数の時系列データカラムを合成せずに判別モデルを生成する「マルチカラム（データ合成なし）モデル生成機能」により、判別モデルの判断基準に各データカラムがどの程度影響するかを定量的に示すことが可能になり、判別モデルによる判定理由の可視化を実現した。ユーザーは判定根拠となったデータカラムをたどって発生事象の原因を分析することで、判別に影響を及ぼす要因に対して製造現場で具体的な対策を講じられるようになるとのこと。

ニュースリリースサイト(TED)：https://www.teldevice.co.jp/pro_info/2019/press_191212.php