半導体製造現場の安全を守るコスモス式ガス検知部「PS-8」を発売

ガス警報器・検知器メーカーの新コスモス電機(株)は、半導体⼯場向けガス検知警報装置用 コスモス式ガス検知部「PS-8シリーズ」を2024年7月31日(水)に発売した。

■開発の経緯
半導体製造工場では製造工程において、人体に危険な特性を持つ多種多様なガスを扱っており多数のガス検知警報装置の設置が必要となる。また、一般高圧ガス保安規則関係例示基準では、「特殊高圧ガスに係るガス漏えい検知警報設備の指示値の校正は、6ヶ月に1回以上行うこと。」と定められている。
新コスモス電機では、半導体工場向けガス検知部として1997年に「PS-6」、2003年に前身機種である「PS-7」を開発した。この製品シリーズは、校正済みのセンサユニットを交換するだけで現場でのガス校正が不要で、メンテナンスの手間やランニングコストを低減できる「コスモス式」を業界に先駆けて採用した。その特徴が好評で、国内だけにとどまらず海外の半導体工場でも多くのお客様にご使用いただいている。
そのような中、従来の特徴を活かしながら、お客様のニーズに合わせてカスタマイズできる次世代のガス検知部開発に取り組んできた。

この度発売した「PS-8」は、メインユニットにサブユニットや拡張ユニットを追加することで、お客様が必要なガス種を必要な分だけ増設できるなど、お客様のニーズに応じたフレキシブルな監視が可能となった。また、長年培ったガスセンサ技術を活かし、ガス検知部のコアとなるガスセンサの性能向上を実現した。さらに大型液晶で視認性を高めるなど、ユーザビリティがアップした。

プレスリリースサイト:https://prtimes.jp/main/html/rd/p/000000027.000077903.html