水晶デバイスとセンサ技術
水晶は、圧電素子であり、電子機器を制御するための基準周波数を発生する発振器の主要部品である水晶振動子として広く世の中で使われている。この発振器の水晶振動子に力を加えたり、表面に物質を吸着すると発振周波数が変化する。この性質を利用すると、力学センサや物質の吸着を利用したニオイセンサなどのセンサを実現できる。
今月は、長年に渡り水晶応用センサを開発しているセイコーエプソン（株）に主な技術解説をお願いした。センシングシステム開発等の参考にして頂きたい。
センサイト編集部
