(株)タイセー 第1製造2部 白坂 壽和
3. 圧電振動子の作製例
3.1 作製方法
円筒型圧電振動子の作製実績例は図 12のとおりである。バブルの大きさは振動子の高さを示す。
図 12 円筒型圧電振動子の製作実績例
円筒型圧電振動子は、図 13の工程で製造される。タイセーでは原材料の調合から焼成、加工、組立まで圧電振動子を自社で一貫製造できる。電極材料についても焼付銀電極を標準として、自社で保有のスパッタリング装置、めっき装置により薄膜電極、めっき電極も形成可能なため、自由度が高い製品ができるのが強みである。
円筒型圧電振動子加工用の治工具類も全て社内で設計から加工・調整まで対応できるため、高い要求精度の加工が可能である。
図 13 円筒型圧電素子の工程簡易フロー
また、成型金型さえ製作してしまえば、さらなる大型化も可能である。
大型化する場合、一般的な一軸プレスだと高さ中央部の密度が低くなる傾向があり、焼結時にクラックが発生する原因になる。
その場合には、離型剤および造粒粉の最適化、金型を改良し成型体に残留応力をかけないことで大型素子を製作することが可能となる。
更に、脱バインダー時のクラックにも細心の注意を払う必要があり、バインダー分解時には雰囲気ガスを選択する場合もある。
逆に小型素子の場合、加工品の同心度や面粗度が問題になる場合がある。
タイセーでは60年以上、時計部品加工から培った精密加工技術があるため、治工具類も全て社内で製作できることから、加工精度の高い圧電振動子の製造が可能である。
円板型圧電振動子の製造可能製作範囲は図 14のとおりである。
図 14 円板型圧電振動子の製作可能範囲
円板型圧電振動子についても円筒型圧電振動子同様に、大判化に対する技術は保有しているため、金型を製作し、また大型プレス機を導入することにより大判型圧電振動子の製造が可能になる。
3.2 共振周波数
ここで、圧電振動子の共振周波数および静電容量の設計方法について述べる。
円板型圧電振動子の共振周波数は、表 1タイセーの圧電材料特性例(代表値) の周波数定数N [kHz・m] から式(1)より計算することができる。
例えば、φ15×1.5mmt(3C 材)の径方向共振周波数の場合、
*電極パターンなどにより誤差があるので注意が必要
円筒型圧電振動子の共振周波数は、4.1 共振周波数と受波感度の設計 を参照のこと
3.3 静電容量
円板型圧電振動子の静電容量値は、表 1 タイセーの圧電材料特性例(代表値) の比誘電率ε から式(2)より計算することができる。
例えば、φ15×1.5mmt(3C 材)の場合、
円筒型圧電振動子の静電容量値も表 1 タイセーの圧電材料特性例(代表値)の比誘電率ε から式(3)より計算することができる。
例えば、φ24-φ22×H32mmの場合、
4. 圧電振動子を用いた海洋アプリケーション
4.1 共振周波数と受波感度の設計
2.3 圧電振動子の基本特性 でも記述したとおり、円筒型圧電振動子を用いた送受波器は、径方向共振周波数以下で平坦な感度周波数特性が得られることから最も使用しやすい。
円筒の径を小さくすれば、小型化、広帯域になるが、受波感度は低下する。逆に、径を大きくすると受波感度は高くなるが、共振周波数が低くなって平坦な帯域は狭くなってしまう。従って必要な帯域により受波感度と寸法が決まる。
円筒型圧電振動子の共振周波数は円筒外周半径Ra [m](外円周長)、音速(c [m/s])により式(4)、式(5)により計算することができる。
例えば、φ24-φ22×H32mmの場合、
共振周波数以下の平坦な部分での受波感度は以下の式で示される。 以下は共振周波数を考慮しない受波感度電圧の計算式である。
例えば、φ24-φ22×H32mmの場合、
表 3に代表例として円筒型圧電振動子の形状と共振周波数、受波感度の計算結果を示す。
4.2 円筒型圧電振動子を用いたアプリケーション(ハイドロホン)例
4.1 共振周波数と受波感度の設計 で示した圧電振動子を組み込んだハイドロホンの例を示す。
画像提供:株式会社アクアサウンド様 https://aqua-sound.com/product/hydrophone/
代表例として、φ24-φ22×H32 円筒型圧電振動子を使用したハイドロホン AQH-020の感度周波数特性を図15に示す。
図 15 φ24-φ22×H32 使用ハイドロホンの感度周波数特性(実測値)
受波感度をあげるために、円筒型圧電振動子の電極を分割し直列接続することで感度電圧をさらに改善することも可能である。
5. おわりに
本報告では、海洋で主に使用される、円筒型圧電振動子および円板型圧電振動子に求められる性能、振動子の設計例、円筒型圧電振動子を用いたハイドロホンの特性について述べた。
感度電圧を上げるためには圧電振動子の外径を更に大きくする必要がある。現状弊社の製造設備では大きさに限界があるが、過去の製造実績から、需要状況により大型化への対応が可能である。
また、近年ではマルチビームソナーに関する研究が活発に行われ、そのためには精密な加工技術が必要不可欠となっている。
弊社では60年以上、時計部品加工から培った精密加工技術があるため、治工具類も全て社内製作できることから、加工精度の高い圧電振動子の製造が可能である。
ハイドロホンを含むソナーは海外製が主流で国産製が少ないのが現状である。
弊社では円筒、円板、積層品も含めた多種多様な圧電振動子の一貫製造が可能である。今後はこの強みを更に生かして、国内の海洋向けソナーへの需要にマッチした圧電振動子の提供を行っていきたい。
謝辞
本報告にあたりご助言をいただいた株式会社アクアサウンド 遠藤社長、株式会社 AquaFusion 笹倉会長、足利大学 工学部 創生工学科 電気電子分野 土信田教授に感謝いたします。
以上
【著者紹介】
白坂 壽和(しらさか としかず)
株式会社タイセー 第1製造2部 部長代行
■略歴
2000年 科学技術振興事業団(現 科学技術振興機構)プレベンチャープロジェクト参画
2002年 株式会社タイセー入社、圧電材料開発、積層圧電アクチュエータ、超音波センサの開発業務などをおこない、現在に至る
Nexar(ネクサー) Ltd.社とその日本法人である(株)Nexar Japanは、日本郵便(株)と共同で令和6年能登半島地震が起きた奥能登地域の街路状況に関する情報を選択的に収集・分析するプロジェクトを実施した。
本プロジェクトでは郵便局の集配車両にNexarのAI搭載のドライブレコーダーを装し、最新の路上の画像・情報を自動で収集する。取得した画像・情報は、匿名化(マスキング)等の処理のうえ、リアルタイムでクラウド上のAIにて分析・整理・可視化され、Nexarのプラットフォーム上で共有される。
これらの仕組みを活用し、日本郵便は令和6年能登半島地震にて被害を受けた地域の道路状況等を随時把握することにより、集配計画の策定等への活用の可能性について検討している。
■プロジェクト概要
内容:郵便局の集配車両に装着したNexarのドライブレコーダーを活用し、各車両が走行するルートの街路状況
などのデータを取得・分析。郵便局の集配計画策定等への活用を検討する。
期間:2024年5月〜2024年7月(データの取得は2024年6月末まで)
エリア:輪島郵便局、珠洲郵便局、穴水郵便局配達区域内
■Nexarのドライブレコーダーおよびテクノロジーの特徴
Nexarの強みはAI(人工知能)を駆使したリアルタイムマッピング技術である。ドライブレコーダーから収集したリアルタイム映像から、道路標識や工事区間のほか、陥没箇所や障害物といった道路上で起こる様々な事象を検知する。静的・動的問わず、高速道路や一般道路のAIデジタルツインを作成することが可能であり、既に米国アリゾナ州フェニックスにてNexarのリアルタイムマッピング技術を活用した自律走行を可能とする地図を作成しているという。
コア技術は、視覚データの処理と伝送に関連する演算と通信処理の課題を克服し、最小遅延と低コストを達成する為、エッジとクラウド側それぞれの機能を最適化する点にある。その結果、関連するエリアでリアルタイムのデータフィードが生成され、それらを活用することによって運転の安全性を確保することが可能となるとしている。
プレスリリースサイト:https://prtimes.jp/main/html/rd/p/000000004.000074815.html
●3相ゲートドライバIC「STDRIVE101」による高電力密度およびスリープ・モードでの超低消費電力を実現
●実装ボードをSTのオンライン・ストアから入手可能
STマイクロエレクトロニクスは、3相ゲートドライバ、STM32G0マイクロコントローラ(マイコン)、および750Wのパワー段を直径わずか50mmの円形プリント基板に集積したモータ駆動用リファレンス設計「EVLDRIVE101-HPD(High Power Density)」を発表した。
このリファレンス設計は、スリープ・モードで1uA未満という超低消費電力を特徴とする。また、小型であるため、ヘアドライヤーやハンディ掃除機、電動工具、ファンなどの機器に直接組み込むことができる。ドローンやロボットおよび、ポンプやFAシステムといった産業機器の駆動部にも簡単に組み込むことができる。
堅牢かつ小型の3相ゲートドライバ「STDRIVE101」が搭載されたこのリファレンス設計は、台形波制御やベクトル制御(FOC)、センサ付きまたはセンサレスのロータ位置検出など、モータ制御方法を柔軟に選択できる。STDRIVE101は、600mAの電流駆動能力を持つ3個のハーフ・ブリッジを内蔵している。5.5V~75Vの範囲で動作するため、あらゆる低電圧アプリケーションに対応可能。また、ハイサイド / ローサイド・ゲートドライバ用のリニア・レギュレータと、調整可能なドレイン・ソース間電圧(Vds)モニタリングによる保護機能を集積している。外部入力ピンも備えているため、ハイサイド / ローサイド・ゲートの直接入力制御、またはPWM制御を選択できる。
STM32G0マイコンに搭載されたシングル・ワイヤ・デバッグ(SWD)インタフェースを利用した同マイコンとの通信や、ファームウェアの直接更新によるバグ修正および新機能の実装も可能である。
EVLDRIVE101-HPDのパワー段には、60V耐圧のSTripFET F7シリーズMOSFET「STL220N6F7」が搭載されており、1.2mΩ(Typ.)のオン抵抗(Rds(on))で効率的な動作を維持し、プラグ・アンド・プレイ型のコネクタでモータと簡単に接続できる。また、高速のパワーオン回路が内蔵されているため、アイドル時に電源との接続を切断して消費電力を削減することで、バッテリ駆動アプリケーションの駆動時間延長に貢献する。さらに、パワー段のMOSFETのVdsモニタリングや、低電圧ロックアウト(UVLC)機能、過熱保護、クロス導通保護(ハイサイドとローサイドのトランジスタが同時にオンすると出力電流が流れないように保護する機能)など、システムの安全性および効率向上に貢献する保護機能が多数内蔵されている。
EVLDRIVE101-HPDは、STのeSToreから入手可能で、すぐに使用することができる。単価は、約92.00ドル。
プレスリリースサイト:https://prtimes.jp/main/html/rd/p/000001402.000001337.html