(株)タイセー 第1製造2部 白坂 壽和
1. 海洋へのピエゾ実用化の歴史
物質に圧力を加えるとその圧力に比例した電荷が生じる圧電効果は1880年にジャック・キュリーとピエール・キュリーによって発見された。逆に物質に電圧をかけると変形する性質が逆圧電効果である。
この逆圧電効果を利用した圧電振動子は海洋での音波の発生にも広く使われ、1912年、タイタニック号が氷山に衝突し沈没した事故を契機に、水中に音波を放射して障害物を探知する研究が本格的に始まった。
その後、1922年頃にはフランスのランジュバンが水晶振動子を用いて、放射したパルス音波の往復時間から水深を読み取る技術を開発、1935年頃には英国で実用化され、多様な用途に広がっていった。
音波の音源となる圧電振動子においては、戦後の1947年にはチタン酸バリウム(BaTiO3 )セラミックスの圧電性が見出された。BaTiO3 は共振周波数の温度安定性があまり良くなかったため、温度安定性を重視しない魚探用電気音響変成器として1951年に実用化された。その後の活発な材料研究により、圧電振動子はPZT(チタン酸ジルコン酸鉛)に広く置き換えられた。
主に圧電振動子を音源とするソナー(SONAR:Sound Navigation and Ranging)は音波によって物体を検知する技術の総称である。
ソナーの中でも圧電振動子などで自らが音波を発し、その反射波から目標物の方位と距離を把握するのがアクティブ・ソナー、対して、探知目標が発する音波を圧電振動子で検知するのがパッシブ・ソナーである。パッシブ・ソナーの中でも水中の音を聴く、もしくは記録するために圧電振動子を用いた受信専用器をハイドロホンという。図 1に円筒型圧電素子を内蔵したハイドロホンの簡易構造図を示す。
図 1 ハイドロホン簡易構造図
本報告では、海洋での圧電振動子に求められる性能、振動子の設計例、円筒型圧電振動子を用いたハイドロホンの例を紹介する。
2. 海洋での圧電振動子に求められる性能
主にアクティブ・ソナーの音源として使用される送波器用圧電振動子と、パッシブ・ソナーの検知用として使用される受波器用圧電振動子に要求される特性について述べる。
送波器と受波器は、それぞれ機能が異なるが、使用上、経済性から1つの圧電振動子を送受兼用にしている場合が多い。
2.1 圧電材料の要件
送波器として使われる圧電振動子に求められる性能は次のとおりである。
(1) 電気機械結合係数K が大きい材料
(2) 圧電d 定数が大きい材料(ε が大きい材料)
(3) 誘電損失 tanδが小さく、機械的品質係数Qm が大きい材料
(4) 周波数f 、電気機械結合係数K の温度係数が小さい材料
受波器として使われる圧電振動子に求められる性能は次のとおりである。
(1) 圧電g 定数が大きい材料
(2) 静電容量C (比誘電率ε )が小さい材料(g = d/ε )
(3) 比誘電率ε 、電気機械結合係数K の温度係数が小さい材料
ここで、送受波器用圧電振動子に用いられているタイセーの圧電材料特性(代表例)を表 1に示す。
また、各材料の温度特性データを図 2に示す。
特に 3C 材は受波器用に広く用いられている材料であるが、温度変化に敏感なシステムには 1C 材のような温度特性が良い材料が選択される。
上述のとおり1つの圧電振動子を送受兼用にしている場合が多いが 送波器用材料として、誘電損失の少ない 5C 材が選択される場合もある。
表 1 タイセーの圧電材料特性例(代表値)
図 2 各種圧電材料の温度特性
2.2 圧電振動子の種類
海洋で主に用いられるタイセーの圧電振動子例を図 3(円筒型)、図 4(円板型)に示す。主に、円筒型は円筒の径方向振動で水平方向に超音波を放射し、円板型は厚み振動により深さ方向に超音波を放射して使用される。
図 3 円筒型圧電振動子例 左から、C-11(φ84-φ70.8×H31.8mm)、φ28-φ26×H30mm、φ24-φ22×H32mm、 φ10-φ8×H8mm、φ5-φ4×H3.5mm、C-26(φ38.1-φ28.25×H30.6mmH)(塗装後)
図 4 円板型圧電振動子例 左からφ80×8.5mmH、φ30×2mmt、φ12×0.6mmt、φ5×0.3mmt
画像は一例であり、製作可能範囲は 3項 圧電振動子の作製例 を参考、また、円筒、円板以外の角板や積層圧電振動子、コンポジット型圧電振動子、その他特殊形状も製造が可能である。
2.3 圧電振動子の基本特性
円筒型圧電振動子のインピーダンス特性測定結果例を図 5、φ24-φ22×H32の変位図を図 6、同シミュレーション結果を図 7、代表特性値を表 2に示す。
円筒型圧電振動子を用いた送受波器は図 8のとおり、円筒の水平方向で無指向性であり、径方向共振周波数以下で平坦な感度周波数特性が得られることから最も使用しやすい送受波器である。
図 5 円筒型圧電振動子のインピーダンス測定結果例
図 6 φ24-φ22×H32変位図
図 7 円筒型圧電振動子のインピーダンスシミュレーション結果
図 8 φ24-φ22×H32円筒型圧電振動子を組み込んだハイドロホンの指向特性(実測値)
次に代表例として円板型圧電振動子であるφ30-2mmtのシミュレーション結果を図 9、同径方向(基本波)変位図を図 10、同厚み方向(基本波)変位図を図 11に示す。
図 9 φ30×2mmt インピーダンスシミュレーションデータ
図 10 φ30×2mmt変位図 径方向基本波
図 11 φ30×2mmt変位図 厚み方向基本波
次回に続く-
【著者紹介】
白坂 壽和(しらさか としかず)
株式会社タイセー 第1製造2部 部長代行
■略歴
2000年 科学技術振興事業団(現 科学技術振興機構)プレベンチャープロジェクト参画
2002年 株式会社タイセー入社、圧電材料開発、積層圧電アクチュエータ、超音波センサの開発業務などをおこない、現在に至る
富士通(株)とイオンモール(株)が運営するショッピングモールであるイオンモール太田は、イオンモール太田内のバリアフリートイレにおいて、ミリ波レーダー分析AIを活用し、転倒などの早期発見、および用途外利用や長時間利用の検出に関する実証実験を2024年8月1日(木曜日)から2025年1月31日(金曜日)まで、実施する。
本実証実験では施設内のバリアフリートイレにミリ波レーダーを設置し、プライバシーに配慮しながらトイレ内での転倒などの異常事態の検出や各設備の利用率などの検証を行う。
背景
富士通は、2024年1月からTOTO(株)とミリ波レーダー分析AIを用いて、商業施設や駅構内などに設置されたバリアフリートイレなどの特にプライバシーを重視する必要がある空間における見守りについて実証実験を行い、誰もが安心して過ごせる公共トイレ空間の創出に向けて共同で取り組んでいる。そのような中、イオンモール太田でも、バリアフリートイレ内における転倒など予期せぬ事故の早期発見による一層の安全性確保が課題となっていたことから、両社はこのたび、実証実験をイオンモール太田のバリアフリートイレで開始するに至った。
実証実験の概要
●実施期間:
2024年8月1日(木曜日)から2025年1月31日(金曜日)予定
●実施場所:
イオンモール太田(所在地:群馬県太田市)内の一部のバリアフリートイレ
●実証内容:
ミリ波レーダー分析AIを用いて利用者のプライバシーに配慮しながら、バリアフリートイレ内での転倒などの早期発見、および用途外利用や長時間利用の検出に関する実証実験を実施する。具体的にはイオンモール太田内の一部のバリアフリートイレに富士通のミリ波レーダーを設置し、トイレ利用者をレーダーで捉える。その情報はリアルタイムでクラウドへ転送され、AI分析を行った上でバリアフリートイレ内の転倒や用途外利用、長時間利用を検出し、安全性確保の有用性について確認する。また、エリアごとの利用頻度や占有率を収集し、利用者にとってより良いトイレ空間を目指した検証を行う。
●両社の役割:
イオンモール太田:バリアフリートイレ利用者の安全確保とバリアフリートイレ内のデータ収集および利用実態の把握。
富士通:ミリ波レーダー分析AIなど見守り技術の提供、データ収集および分析、技術評価に基づく技術向上。
プレスリリースサイト:https://pr.fujitsu.com/jp/news/2024/07/29.html
セイコーエプソン(株)〔以下 エプソン〕は、高性能な6軸センサーを搭載した慣性計測ユニット(以下 IMU*1)の新ラインアップとして、高精度・低ノイズの防水・防塵型、プレミアムモデル『M-G570PR』を開発、2024年7月より量産を開始した。
2011年にエプソン初となる水晶ジャイロセンサー*2をコアとしたIMUを発売以来、同社IMUは、精密農業(GNSS*3)や民生・産業部品を活用する小型人工衛星*4、EO/IRカメラジンバル*5、アンテナの制振制御など、さまざまなアプリケーションに採用され、多くの実績と高い品質により、市場から好評を得ている。近年では、空中や人工衛星での映像撮影や測量など利活用分野が広がり、より精確な位置・姿勢制御のニーズが増大している。それに伴いIMUには姿勢制御において重要とされる高精度性能への要求が高まっている。
新製品『M-G570PR』は従来品の「M-G370PDG」をベースに、エプソン独自のマルチセンサー技術により、複数のIMUを合成することで高性能化を図った。これにより、ジャイロバイアス安定性*6 0.5°/h、角度ランダムウォーク*7 0.04°/√hを実現し、より高精度計測を可能にするという。
さらに、金属筐体パッケージ化により防水・防塵規格IP67に対応することで耐環境特性を高めるとともに、産業分野で幅広く採用されているシリアル通信RS-422*8インターフェースを標準装備した。そのため、高安定性、高信頼性が要求される多様な産業アプリケーションへ適用可能で、用途に合わせた最適な製品をお客様に選択して貰うことが出来る。
■新製品の特長
・ジャイロバイアス安定性 0.5°/hを実現
・角度ランダムウォーク 0.04°/√hを実現
・ジャイロセンサーのノンリニアリティ特性*9 0.05%を実現
・防水・防塵対応 IP67、RS-422インターフェース、故障診断機能採用
■本製品のアプリケーション
・民生・産業部品を活用する小型人工衛星・EO/IRカメラジンバル・アンテナなどの制振制御
・ナビゲーションシステム(GNSS、INS*10、高精度ロケータ)など
・無人機(産業ドローン・地上車・海底探査)など
・産業機器などの振動・角度・軌道計測
製品の詳細情報は下記ウェブページをご参照のこと。
https://www.epson.jp/prod/sensing_system/
*1:慣性計測ユニット(Inertial Measurement Unit:通称IMU)
3軸の角速度センサーと3軸の加速度センサーからなる慣性運動量を検出する装置
*2:ジャイロ(角速度)センサー
基準軸に対する、物体の単位時間当たりの回転角度(角速度)を検出するセンサー
*3:GNSS(Global Navigation Satellite System)
全地球測位衛星システム
*4:本製品およびエプソンのIMUは、宇宙空間での使用における規格に準拠したものではありません
*5:EO/IR(Electro-Optical/Infra-Red)カメラジンバル
電気光学式、赤外線式カメラシステム
*6:ジャイロバイアス安定性(Bias Instability)
アラン分散で水平(0乗)の特性を表す部分をバイアス安定性と呼ぶ。1/fノイズと相関があり、センサーのポテンシャルを表す重要な指標の一つである
(アラン分散とは、センサーの性能を表す指標の一つで、静止時出力の安定性を表している。横軸にデータの平均時間、縦軸に平均時間で区切ったときの平均値の分散を示している。アラン分散に現れる特性の傾きは-1、-1/2、0、1/2、1乗の傾きになることが知られており、アラン分散はノイズ密度と相関性があり、ノイズ密度は周波数、アラン分散は時間で表現される指標である。値が小さいほど、安定度が高く、性能がよいことを示す。)
*7:角度ランダムウォーク*1:慣性計測ユニット(Inertial Measurement Unit:通称IMU)
3軸の角速度センサーと3軸の加速度センサーからなる慣性運動量を検出する装置
*8:RS-422
産業・工業製品などで使用されるシリアル転送のインターフェース仕様
*9:INS(Inertial Navigation System)
慣性航法装置
*10:ノンリニアリティ
ジャイロセンサーあるいは加速度センサーの入出力特性において、線形近似したときの近似直線と出力値のずれ幅(誤差)の最大値をフルスケールとの比で表したもの
アラン分散の-1/2乗の傾きがある部分を角度ランダムウォークと呼ぶ。ホワイトノイズと相関があるため、平均時間を長くすると平均時間の-1/2乗で値は小さくなる
プレスリリースサイト:https://corporate.epson/ja/news/2024/240729.html
仙台市では、データ連携基盤を利活用しやすい環境を提供し、企業、教育・研究機関、地域団体などの多様な主体による連携を促すことで、新たなデータ利活用事例の創出を目指す枠組み「DATA SENDAIプラットフォーム」を創設する。
また、データ連携基盤を活用したソリューションやサービス・アプリの開発を支援する「DATA SENDAIフロントライン」を実施することとし、支援プロジェクトの募集を開始する。
▶特設ウェブサイトはこちら:https://data-sendai-platform.jp/
■DATA SENDAIプラットフォームの会員募集
本プラットフォームでは、ともにデータの利活用促進に取り組んでくださる企業や団体の皆様を幅広く募集する。
〇会員向けサービス(抜粋)
・ データ連携基盤へのアクセス及び利用
・ データ連携基盤に関する技術支援、情報提供
・ データ利活用事例に関する広報
・ 会員同士の交流機会
〇会員条件(抜粋)
・ 個人(個人事業主を除く)でないこと
・ 反社会的勢力、又は反社会的勢力の関係者でないこと
〇利用料金
無料(任意参加のイベント等に際し、会員から参加費等を徴収する場合あり)
■開発支援プログラム「DATA SENDAIフロントライン」
〇募集テーマ
テーマ名 採択予定数 補助上限額
① 浸水センサデータ活用による開発実証 1件 150万円
② 動的データ連携による開発実証 1件 150万円
③ データ連携基盤活用実証 2件 各50万円
〇支援内容
(1) 開発実証にかかる費用の補助 ※上限あり
(2) データ連携基盤に関する技術サポート(伴走支援)
(3) プロジェクト成果の広報支援
〇スケジュール
時期 内容
7月25日(水)~9月5日(木) 応募受付期間
7月25日(水)~8月2日(金) 質問受付(1回目締切)
~8月16日(金) 質問受付(2回目締切)
9月 支援プロジェクトの審査・選定
10月~令和7年2月 プロジェクト実施
令和7年3月 成果報告会
■キックオフ説明会について
【日 時】7月31日(水)13時00分~15時00分(2時間)
【開催方法】Microsoft Teamsによるオンライン形式
【内 容】・DATA SENDAIプラットフォームについて
・開発支援プログラム「DATA SENDAIフロントライン」について
・データ連携基盤について(機能、活用事例、デモンストレーション等)
【申込方法】下記参加申込フォームからお申し込みのこと(7/30迄)
https://forms.office.com/e/CbJB4pjSYg
■お問い合わせ
DATA SENDAIプラットフォーム運営事務局
(受託事業者:KPMGコンサルティング株式会社)
メールアドレス JP-FMKC-DSPF@jp.kpmg.com
問合せフォーム https://forms.office.com/e/0Tn8vx0Z1i
特設サイト:https://data-sendai-platform.jp/