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水晶と水晶を用いたセンサー(2)

セイコーエプソン(株)マイクロデバイス事業部佐藤 健二 3.2 水晶の加工法  水晶の加工法には、大きく分けて3つの方法がある。「機械加工」「ウェットエッチング」「ドライエッチング」の3種類である。現状、量産技 […]

水晶ジャイロセンサーについて(2)

セイコーエプソン(株)マイクロデバイス事業部押尾 政宏 3. ジャイロセンサーの重要特性  ジャイロセンサーには様々な特性があり、アプリケーションに応じて適切なセンサーを選択する必要がある。以下にポイントとなる […]

水晶加速度センサーについて(2)

セイコーエプソン株式会社マイクロデバイス事業部中仙道 和之 3. 水晶加速度センサーのアプリケーション例  開発初期のターゲットアプリケーションは、地震観測[2]でした。人が感じる事が出来ない極微小な振動から、 […]

水晶と水晶を用いたセンサー(1)

セイコーエプソン(株)マイクロデバイス事業部佐藤 健二 1 はじめに  水晶は「産業の塩」とも言われるほど、電子機器には欠かせない物質である。温度安定性の高さから、多くの通信機器の周波数源として水晶振動子や水晶 […]

水晶ジャイロセンサーについて(1)

セイコーエプソン(株)マイクロデバイス事業部押尾 政宏 1. ジャイロセンサーとは  ジャイロは「角速度」を検出するセンサーであり、角速度センサー、レートセンサー、ジャイロスコープとも呼ばれる。ジャイロとは、ギ […]

水晶加速度センサーについて(1)

セイコーエプソン株式会社マイクロデバイス事業部中仙道 和之 1. 加速度センサーとは  加速度センサーとは、基本的な物理量単位である加速度を計測するためのセンサーです。加速度センサーには多くの種類があり様々な用 […]

見えないイオンの濃度分布を可視化する半導体化学イメージセンサ Chemical imaging sensor system for visualization of chemical species(2)

東北大学 大学院医工学研究科教授吉信 達夫 3. 化学イメージセンサの応用例 3.1 ステンレス鋼表面の隙間腐食  化学イメージセンサの特長を活かした測定例として、ステンレス鋼表面の隙間腐食のその場観察がある[ […]

レーザー超音波可視化検査技術(2)

つくばテクノロジー(株)常務取締役/開発製造部部長鈴木 修一 3. レーザー超音波可視化検査装置による検査 3.1.アルミパイプの内部スリット検出例  単純な超音波伝搬映像例として、内側に擬似欠陥としてスリット […]