弾性波フィルタとは何か-FBARやSMRをわかりやすく、詳しく解説(1) 東北大学 大学院 工学研究科ロボティクス専攻 教授 田中秀治 1. 最大のMEMS製品:BAWフィルタ フランスのエレクトロニクス市場・技術調査会社Yole Développmentが、毎年、MEMS売上企業ランキング […] 2020年11月03日 特集
MEMS技術との融合により実現する人工細胞膜センサ(1) 神奈川県立 産業技術総合研究所 大崎寿久 東京大学 大学院 情報理工学系研究科 教授 竹内昌治 1.はじめに 細胞膜は、細胞の内外を隔てるだけでなく、細胞内小器官を形作るなど、細胞の主要な構成要素の一つとなっている。細胞 […] 2020年11月03日 特集
ディスプレイとライダーのためのMEMSミラーの設計基本ポイント(1) 東北大学 大学院工学研究科 教授 羽根一博 1. はじめに MEMSミラーはレーザーのスキャナとして古くより開発されてきた。現在では携帯型のレーザープロジェクタとして市販されている。また、車の自動運転に必要な距離画像を得 […] 2020年11月03日 特集
非冷却赤外線イメージセンサ(1) 立命館大学 理工学部 特任教授 木股雅章 1. はじめに MEMS (Microelectromechanical Systems) 技術は、LSIと同じようなプロセス装置を使って三次元構造を作る製造技術である。MEMS […] 2020年11月03日 特集
工業用センサの製品コンセプトと設計の考え方(2) 日本工業大学 特別研究員 大木 眞一 3. 工業用センサに要求される仕様と設計の考え方 工業用センサは、プロセス制御の分野において多くの製品が長期に使用されてきた実績があることから、ユーザ側から図5に示すような様々な要求 […] 2020年10月20日 特集
差圧伝送器(2) 島津システムソリューションズ(株) 製造本部技術部 緑川 淳 4.差圧伝送器の構造 差圧伝送器の構造について、当社の半導体ストレインゲージ式差圧伝送器を例に説明する。当社の差圧伝送器の外観および、各部の名称を図5に示す。 […] 2020年10月20日 特集
工業用流量センサの製品コンセプトと設計の考え方(2) 日本工業大学 特別研究員 大木 眞一 3. 流量計の選定方法と製品コンセプト 流量計として必要な主な要件は以下のような性能、仕様である。 ・測定精度、および信頼性 ・広い測定レンジ(最小流量から最大流量までの測定範囲) […] 2020年10月20日 特集
液位センサについて ガイドパルス式レベル計 GW100形(2) (株)ノーケン マーケティング部 河村 啓介 4.ガイドパルス式レベル計 GW100形 弊社が新製品として2019年4月にリリースしたガイドパルス式GW100形は、簡単な操作で幅広い用途にご使用いただける接触式の液位セン […] 2020年10月20日 特集
工業用センサの製品コンセプトと設計の考え方(1) 日本工業大学 特別研究員 大木 眞一 1. はじめに IoT時代となった現在では、大規模工場から家電に至るまで世の中では様々なセンサが活躍している。本稿では、1950年代以降日本国内および海外の工業分野において生産過程に […] 2020年10月06日 特集
差圧伝送器(1) 島津システムソリューションズ(株) 製造本部技術部 緑川 淳 1.はじめに 工業用プロセス計測器の一つである差圧伝送器について、原理と使用例について紹介する。 差圧伝送器は、2つの圧力を受けてその差(差圧)を空気圧信号、 […] 2020年10月06日 特集