カテゴリ: 特集

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センシング技術応用研究会からのご挨拶

センシング技術応用研究会会長筒井博司 1.はじめに センサイトの皆様、2020年よりセンシング技術応用研究会会長に就任いたしました筒井博司と申します。ご挨拶を兼ねて、センシング技術応用研究会の紹介をさせていただきます。 […]
極高真空(XHV)技術とその応用(2)

極高真空(XHV)技術とその応用(2)

一般社団法人センサイト協議会常務理事 島田芳夫 4 極高真空の質量分析への応用 4.1 四重極分析計 WATMASS-MPH 四重極方式(QMS)の質量分析計で、通常のQMSではセンサ先端部のイオン源からのガス放出のため […]

半導体製造へのAI活用(2)

東京エレクトロン(株)先端データ企画部部長 守屋 剛 4.半導体製造プロセスにおける最適化事例 半導体デバイスの微細化、および3次元化により、ターゲットとなる特性(カバレッジ、膜特性、均一性等)を同時に満たすプロセス条件 […]

圧力真空標準の整備とその普及活動について(1)

産業技術総合研究所計量標準総合センター圧力真空標準研究グループ吉田 肇 1. はじめに 真空装置に、複数の圧力計や真空計を並べて取り付けて測定した場合、両者の値が完全に一致することは珍しく、多くの場合、多かれ少なかれ差が […]

極高真空(XHV)技術とその応用(1)

一般社団法人センサイト協議会常務理事 島田芳夫 この文章は、センサイト協議会が東京電子株式会社殿にインタビューした内容を記事にしてあります。面談に応じていただいたのは以下の方々です。 東京電子株式会社代表取締役社長黒岩 […]