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半導体製造へのAI活用(2)

東京エレクトロン(株)先端データ企画部部長 守屋 剛 4.半導体製造プロセスにおける最適化事例 半導体デバイスの微細化、および3次元化により、ターゲットとなる特性(カバレッジ、膜特性、均一性等)を同時に満たすプロセス条件 […]

圧力真空標準の整備とその普及活動について(1)

産業技術総合研究所計量標準総合センター圧力真空標準研究グループ吉田 肇 1. はじめに 真空装置に、複数の圧力計や真空計を並べて取り付けて測定した場合、両者の値が完全に一致することは珍しく、多くの場合、多かれ少なかれ差が […]

極高真空(XHV)技術とその応用(1)

一般社団法人センサイト協議会常務理事 島田芳夫 この文章は、センサイト協議会が東京電子株式会社殿にインタビューした内容を記事にしてあります。面談に応じていただいたのは以下の方々です。 東京電子株式会社代表取締役社長黒岩 […]

半導体製造へのAI活用(1)

東京エレクトロン(株)先端データ企画部部長 守屋 剛 1.はじめに 我々の生活には多くの電子機器が使われており、身近なところでは、自動車、スマートフォン、ドローンなど、数えれば限りがない。それら電子機器の心臓部である半導 […]