IoT時代のキーデバイスMEMSセンサ(5)

江刺正喜
(東北大学 マイクロシステム融合研究開発センター)

5. 触覚センサネットワーク (センサ + ネットワーク)

工業用ロボットは使われるが、介護ロボットはあまり使われない。これはロボットが接触したことを認識できずに危険であり、人と一緒に活動しにくいためといえる。これを解決するためにロボットの体表面に触覚センサを分布させる研究を行ってきた。図16の上は1990年に開発した共通2線式触覚センサネットワークである15)。2本の線に複数の触覚センサが接続されており、共通線は電源供給だけでなく、触覚センサを選択したり、流れる電流(Ip)からその情報を読み出したりする働きがある。図16の下には触覚センサの構成、図17には実際の動作例を示した。共通線の電圧を図17の上のように変化させて特定の触覚センサを選択する。図16下のようにクロック信号とアドレス信号を取り出し、アドレス信号を4ビットのシフトレジスタに入れる。これを設定アドレスと比較して一致すればスイッチ信号(Vs)で、その触覚センサが選択され、荷重に対応して電流Ipが変化して、出力信号が得られる。これをそれぞれのセンサに対して繰り返す。このように一つずつ読み出すシステムは「ポーリング」と呼ばれるが、その欠点はリアルタイムで無いことである。本来はロボットが接触したことをリアルタイムで検出する「イベントドリブン」であることが望ましい。当時研究室でCMOS集積回路を自前で製作していた16)。しかしその集積度は1000トランジスタ(Tr)/チップが限界であった。1990年当時でも企業では100万Tr/チップであり、我々の研究室の1000倍であった。現在では100億Tr/チップであり、100万倍の違いがある。このため我々は、1990年以来CMOS集積回路を自前で製作することを断念した。

図16. 共通2線式触覚センサネットワーク
図17. 共通2線式触覚センサネットワークの動作例

その後はLSIファウンダリに依頼して製作した高集積CMOSLSIを用い、「イベントドリブン」の触覚センサネットワークを開発している。これでは図18のように、2mm角のネットワーク用集積回路の上に容量型力センサがあり、触覚としての力による静電容量変化を検出する。集積回路からは貫通配線を通して裏面に接続されたフレキシブル基板の共通バスに接続されている17)。この触覚センサネットワークの動作例を図19に示してある。4本の共通バスは電源線(VDD, GND)と信号線(SIG+, SIG)からなり、インターネットなどと同様なパケット通信ネットワークを形成している18)。すなわち接触を検出したセンサは、そのアドレスや荷重データのパケット信号を送出する。45MHzのクロックでこれを高速に行う、リアルタイムのシステムになっている。数十のセンサがつながった共通バスはリレーノードに接続され、複数のリレーノードからロボットのホストPCに割り込みが生じて、接触が検知される。リレーノードは接触で始まる非同期信号からクロック信号を生成する機能などを有している。

図18. 触覚センサネットワーク用センサ
図19. オンデマンドパケット通信ネットワークの動作例

文献
15) S. Kobayashi, T. Mitsui, S. Shoji and M. Esashi, Two-lead tactile sensor array using piezoresistive effect of MOS transistor, Technical Digest of the 9th Sensor Symposium (1990) 137-140

16) 江刺正喜,「半導体集積回路設計の基礎」(1986) 培風館

17) M. Makihata, S. Tanaka, M. Muroyama, S. Matsuzaki, H. Yamada, T. Nakayama, U. Yamaguchi, K. Mima, Y. Nonomura, M. Fujiyoshi and M. Esashi : Integration and packaging technology of MEMS-on-CMOS capacitive tactile sensor for robot application using thick BCB isolation layer and backside-grooved electrical connection, Sensors and Actuators A, 188 (2012) 103-110

18) 室山真徳, 巻幡光俊, 中野芳宏, 松崎栄, 山田整, 山口宇唯, 中山貴裕, 野々村裕, 藤吉基弘, 田中秀治, 江刺正喜, ロボット全身分布型触覚センサシステム用LSIの開発, 電気学会論文誌E, 131, 8 (2011) 302-309